[发明专利]缺陷观察方法以及缺陷观察装置

权利要求书

1.一种缺陷观察装置，其通过比较被检查图像与参照图像来检测所述被检查图像所包含的缺陷区域，该缺陷观察装置的特征在于，

具备：缺陷占有率判定处理部，其求出所述被检查图像中缺陷区域所占的比例即缺陷占有率，并判定该缺陷占有率与阈值的大小，

根据所述判定的结果来决定是否生成由具有所述被检查图像所包含的多个像素的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。

2.根据权利要求1所述的缺陷观察装置，其特征在于，

当所述缺陷占有率高于所述阈值时，所述图像取得部重新拍摄被推测为不存在缺陷的区域作为所述参照图像，

当所述缺陷占有率低于所述阈值时，所述参照图像生成处理部生成由具有所述被检查图像所包含的多个像素的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。

3.根据权利要求1所述的缺陷观察装置，其特征在于，

当所述缺陷占有率高于所述阈值时，所述参照图像生成处理部生成由具有在取得所述被检查图像前所取得的不包含缺陷的图像的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像，

当所述缺陷占有率低于所述阈值时，所述参照图像生成处理部生成由具有所述被检查图像所包含的多个像素的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。

4.根据权利要求3所述的缺陷观察装置，其特征在于，

所述参照图像生成处理部使用多个所述不包含缺陷的图像来生成所述参照图像。

5.根据权利要求1所述的缺陷观察装置，其特征在于，

当所述缺陷占有率高于所述阈值时，所述参照图像生成处理部生成由具有从在取得所述被检查图像前所取得的包含缺陷的图像中去除了该缺陷的区域的区域的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像，

当所述缺陷占有率低于所述阈值时，所述参照图像生成处理部生成由具有所述被检查图像所包含的多个像素的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。

6.根据权利要求1所述的缺陷观察装置，其特征在于，

所述缺陷占有率判定处理部根据所述被检查图像所包含的像素的亮度分布来求出所述缺陷占有率。

7.根据权利要求1所述的缺陷观察装置，其特征在于，

具有运算部，其根据在取得所述被检查图像前所取得的包含缺陷的图像中的、该缺陷的区域的亮度分布来求出应判断为缺陷的亮度值范围，

所述缺陷占有率判定处理部根据构成所述被检查图像的像素中在所述亮度值范围内所包含的像素的数量来求出所述缺陷占有率。

8.根据权利要求1所述的缺陷观察装置，其特征在于，

所述缺陷占有率判定处理部根据通过缺陷的大小来分类的多个组各自包含的多个图像的平均亮度分布来使用所述阈值。

9.根据权利要求1所述的缺陷观察装置，其特征在于，

具备显示部，其显示能够选择用于生成或取得所述参照图像的多个方法的画面。

10.一种缺陷观察方法，其通过比较被检查图像与参照图像来检测所述被检查图像所包含的缺陷区域，该缺陷观察方法的特征在于，

求出所述被检查图像中缺陷区域所占的比例即缺陷占有率，并判定该缺陷占有率与阈值的大小，

根据所述判定的结果来决定是否生成由具有所述被检查图像所包含的多个像素的亮度值的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。

11.根据权利要求10所述的缺陷观察方法，其特征在于，

当所述缺陷占有率高于所述阈值时，重新拍摄被推测为不存在缺陷的区域作为所述参照图像，

当所述缺陷占有率低于所述阈值时，生成由具有所述被检查图像所包含的多个像素的亮度值的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。

12.根据权利要求10所述的缺陷观察方法，其特征在于，

当所述缺陷占有率高于所述阈值时，生成由具有在取得所述被检查图像前所取得的不包含缺陷的图像的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像，

当所述缺陷占有率低于所述阈值时，生成由具有所述被检查图像所包含的多个像素的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。

13.根据权利要求12所述的缺陷观察方法，其特征在于，

使用多个所述不包含缺陷的图像来生成所述参照图像。

14.根据权利要求10所述的缺陷观察方法，其特征在于，

当所述缺陷占有率高于所述阈值时，生成由具有从取得所述被检查图像前所取得的包含缺陷的图像中去除了该缺陷的区域的区域的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像，

当所述缺陷占有率低于所述阈值时，生成由具有所述被检查图像的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。