[发明专利]微阀装置和微阀装置的制造方法

权利要求书

1.一种微阀装置，其特征在于，包括：

本体，至少包括第一层和与所述第一层构成腔室的第二层，其中，所述第一层包括与所述腔室流体相通的第一流体端口、第二流体端口和第三流体端口，其中，所述第一流体端口为流体源端口，所述第二流体端口为控制端口，所述第三流体端口为回流端口；所述腔室中对应于所述第一流体端口设有第一压电执行器，所述腔室中对应于所述第二流体端口设有第二压电执行器以及对应于第三流体端口设有第三压电执行器，其中，所述第一流体端口和第三流体端口平行间隔设置，所述第二流体端口位于所述第一流体端口和第三流体端口之间，

其中，所述微阀装置为先导微阀，所述第一压电执行器和所述第三压电执行器置于所述腔室中并且所述第一压电执行器和所述第三压电执行器的应变伸缩方向均平行于所述第一层，其中，所述第一压电执行器和所述第三压电执行器的在应变伸缩方向上的自由端用于遮挡所述第一流体端口和所述第三流体端口以控制所述流体端口的开关状态。

2.根据权利要求1所述的微阀装置，其特征在于，各所述流体端口呈长条状，其长度方向垂直于压电执行器的应变伸缩方向。

3.根据权利要求2所述的微阀装置，其特征在于，各所述流体端口的长度方向取向相同。

4.根据权利要求1所述的微阀装置，其特征在于，所述流体端口在开启时，所述压电执行器在应变伸缩方向上的自由端部分打开或完全打开所述流体端口。

5.根据权利要求1所述的微阀装置，其特征在于，所述压电执行器为堆叠式压电陶瓷，所述堆叠式压电陶瓷的厚度方向平行于所述第一层。

6.根据权利要求1所述的微阀装置，其特征在于，所述第一层上的流体端口的朝向腔室一侧的开口宽度小于或者等于面对外界一侧的开口宽度。

7.根据权利要求1所述的微阀装置，其特征在于，所述第二流体端口的长度方向与所述第一流体端口的长度方向垂直。

8.根据权利要求7所述的微阀装置，其特征在于，所述第二压电执行器的在应变伸缩方向上的自由端还用于对所述第二流体端口的开度进行精确控制。

9.根据权利要求1所述的微阀装置，其特征在于，所述本体仅包括具有流体端口的第一层和形成腔室的第二层，其中，所述第二层的腔室底壁上设有对准凹入区域，所述压电执行器具有定位于所述对准凹入区域中的定位部。

10.根据权利要求9所述的微阀装置，其特征在于，所述压电执行器粘接固定至所述第二层。

11.一种微阀装置的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

制作具有至少两个流体端口的第一层；

制作具有腔室的第二层；

使压电执行器置于所述第二层的腔室中并且与所述第二层对准粘接；以及

使所述第一层和第二层结合以形成微阀装置，其中，所述微阀装置为权利要求1至10中任一项所述的微阀装置，所述压电执行器的应变伸缩方向平行于所述第一层，其中，所述压电执行器的在应变伸缩方向上的自由端用于遮挡所述流体端口以控制所述流体端口的开关状态。

12.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于，在所述制作具有腔室的第二层的步骤中，还包括在所述腔室的底壁形成压电执行器的对准凹入区域。