[发明专利]感光性树脂组合物、耐热性树脂膜的制造方法及显示装置

说明书

本发明提供一种使用了下述聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物，所述聚酰亚胺前体在有机溶剂中的溶解性优异、且可降低得到的树脂组合物的粘度，本发明的感光性树脂组合物含有：具有酰胺基、三氟甲基和芳香环的特定结构作为主要重复单元的芳香族酰胺树脂、(b)感光剂及(c)溶剂。

技术领域

本发明涉及一种包含以特定结构为主要成分的树脂的感光性树脂组合物。更详细而言，涉及一种适用于半导体元件的表面保护膜或层间绝缘膜、有机场致发光(Electroluminescence：以下记作EL)元件的绝缘膜、使用了有机EL元件的显示装置的驱动用薄膜晶体管(Thin Film Transistor：以下记作TFT)基板的平整膜、电路基板的布线保护绝缘膜、固体摄像元件的单片微透镜(on-chip microlens)或各种显示器·固体摄像元件用平整膜等用途的感光性树脂组合物。

背景技术

聚酰亚胺被广泛用于半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜和平整膜等，最近，例如用于有机EL元件的绝缘膜、TFT基板的平整膜等。这些用途与半导体用途相比，基板尺寸非常大，因此，通常利用狭缝涂布来涂布树脂组合物。狭缝涂布是使用狭缝喷嘴的涂布方式，与以往的旋转涂布不同，狭缝涂布不需要旋转基板，因此，从削减树脂组合物的使用量和工序安全性的观点考虑，狭缝涂布被广泛采用。在狭缝涂布中，由于从狭缝喷嘴中排出的涂布膜含有大量溶剂，所以通常在涂布后立即进行减压干燥将溶剂除去，之后使用热板等进行加热干燥。

对于狭缝涂布而言，膜厚取决于来自狭缝喷嘴的排出量和成为涂液的树脂组合物中的固态成分浓度。因此，为了形成厚膜，需要使排出量较大或使树脂组合物中的固态成分浓度较高。然而，如果排出量过多，则液面在基板搬运中波动，所以会导致膜厚均匀性恶化。另一方面，使用了聚酰亚胺或聚酰亚胺前体的树脂组合物存在下述问题：如果使树脂组合物中的固态成分浓度较高，则粘度变得过高。

树脂组合物的粘度可以通过使用对树脂而言为良溶剂、溶剂本身的粘度低的溶剂来降低。聚酰亚胺、聚酰亚胺前体因其具有刚直的结构，所以在多数情况下在各种溶剂中的溶解性低。迄今为止，提出了在有机溶剂中的溶解性得以改善的聚酰亚胺(例如，参见专利文献1)、聚酰亚胺前体(例如，参见专利文献2～3)。然而，这些树脂在有机溶剂中的溶解性仍然不充分。此外，由这些树脂无法得到具有适于狭缝涂布的粘度的树脂组合物。

专利文献1：日本特开2005-41936号公报

专利文献2：日本特开2011-42701号公报

专利文献3：日本特开2011-202059号公报

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种包含在有机溶剂中的溶解性高的聚酰亚胺前体、粘度低且涂布性优异、由此形成均匀的膜厚、具有良好的图案加工性的感光性树脂组合物。

即，本发明为下述感光性树脂组合物：包含(a1)具有酰胺基、三氟甲基和芳香环，且可溶于丙二醇单甲醚乙酸酯的芳香族酰胺树脂、(b)感光剂及(c)溶剂，固态成分浓度为20重量％，25℃时的粘度为1～15cp；或者包含(a2)具有酰胺基、酰胺酸酯基、三氟甲基和芳香环，且可溶于丙二醇单甲醚乙酸酯的芳香族酰胺树脂、(b)感光剂及(c)溶剂，固态成分浓度为20重量％，25℃时的粘度为1～15cp；或者含有(a)具有通式(1)表示的结构作为主要重复单元的树脂、(b)感光剂及(c)溶剂。

(其中，复数个重复单元中，R¹～R³分别可以以不同的基团存在。R¹为4价的有机基团，所有重复单元中的R¹的95～100摩尔％为下式(2)表示的基团。R²为2价的有机基团，所有重复单元中的R²的50～99摩尔％为下式(3)表示的基团、1～50摩尔％为下式(4)表示的基团。R³表示碳原子数1～20的有机基团。l和m分别表示0～2的整数，l+m＝2。)