[发明专利]压电部件在审
申请号: | 201380064037.4 | 申请日: | 2013-12-25 |
公开(公告)号: | CN104838589A | 公开(公告)日: | 2015-08-12 |
发明(设计)人: | 岩河庆明 | 申请(专利权)人: | 京瓷株式会社 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H01L41/09;H03H9/19 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李国华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 部件 | ||
技术领域
本发明涉及能够获得高可靠性以及高精度的频率特性的压电部件。
背景技术
作为微型计算机等的时钟脉冲振荡器用的小型谐振器,多使用利用了压电元件的压电谐振器。例如,如图7所示,已知一种压电部件(压电谐振器),具备支撑基板61和两端通过导电性接合材料62固定在该支撑基板61上的压电元件63,且通过设置在支撑基板61的上表面的电极64以及设置在下表面的电极65形成电容来设为电容元件(参照专利文献1)。
在此,压电元件构成为,在将压电陶瓷形成为薄长方形状而成的基板的两主面形成振动电极,使得振动电极分别向长边方向的不同朝向延伸。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:JP特开2005-210404号公报
发明内容
发明要解决的课题
将上述压电元件搭载于支撑基板上的压电部件追求更加小型化。但是,由压电元件上的对置的振动电极形成且被封闭的振动,经由因小型化而接近的两端的导电性接合材料62向外部泄露,有振动能量降低、振动特性下降的担心。
本发明鉴于上述情况而完成,目的在于提供一种抑制了振动泄露的振动特性优异的压电部件。
解决课题的手段
本发明的压电部件的特征在于,包含支撑基板、和搭载在该支撑基板上的压电元件,该压电元件在一个主面以及另一个主面上具备电极,使得电极具有相互对置的区域,并且在除了该电极对置的区域以外的所述一个主面以及所述另一个主面中的至少一方具备沿宽度方向延伸的凹下区域,该凹下区域中的靠近所述电极的一侧的沿所述宽度方向延伸的角部的至少一部分成为曲面。
发明效果
根据本发明,在厚度变薄的凹下区域中振动波的传播得到抑制,因此振动向压电元件的两端的泄露得到抑制。进而,在凹下区域中靠近电极的一侧的沿宽度方向延伸的角部的至少一部分成为曲面,因此能够抑制振动的反射所引起的脉动的产生。因此,能够实现振动特性优异的压电部件。
附图说明
图1(a)是表示本发明的压电部件的实施方式的一例的部分省略概略俯视图,(b)是在(a)所示的A-A线上进行了切断的概略剖面图,(c)是(a)所示的压电部件的主要部分的放大立体图。
图2(a)是表示本发明的压电部件的实施方式的其他例子的部分省略概略俯视图,(b)是在(a)所示的A-A线上进行了切断的概略剖面图,(c)是(a)所示的压电部件的主要部分的放大立体图。
图3(a)~(c)是本发明的压电部件的实施方式的其他例子的主要部分放大立体图。
图4(a)是表示本发明的压电部件的实施方式的其他例子的部分放大剖面图,(b)是(a)所示的区域X的放大图,(c)是(a)所示的区域Y的放大图。
图5(a)是表示本发明的压电部件的实施方式的又一其他例子的部分放大剖面图,(b)是(a)所示的区域X的放大图,(c)是(a)所示的区域Y的放大图。
图6(a)是表示本发明的压电部件的实施方式的其他例子的部分省略概略俯视图,(b)是在(a)所示的A-A线上进行了切断的概略剖面图,(c)是(a)所示的压电部件的主要部分的放大立体图。
图7(a)是表示现有的压电部件的实施方式的一例的部分省略概略俯视图,(b)是在(a)所示的A-A线上进行了切断的概略剖面图。
具体实施方式
参照附图对本发明的压电部件的实施方式的例子详细进行说明。
图1(a)是表示本发明的压电部件的实施方式的一例的部分省略(盖体省略)概略俯视图,图1(b)是在图1(a)所示的A-A线上进行了切断的概略剖面图,图1(c)是图1(a)所示的压电部件的主要部分的放大立体图。
图1所示的例子的压电部件,包含支撑基板1、和搭载于支撑基板1上的压电元件2,压电元件2在一个主面以及另一个主面以具有相互对置的区域的方式具备电极(振动电极22、23),并且在除了电极(振动电极22、23)对置的区域之外的一个主面以及另一个主面中的至少一方设置有沿宽度方向延伸的凹下区域24,凹下区域24中的靠近电极(振动电极22、23)的一侧的沿宽度方向延伸的角部的至少一部分成为曲面。
支撑基板1包含例如形成为长度是2.5mm~7.5mm、宽度是1.0mm~3.0mm、厚度是0.1mm~1mm的长方形状的平板的支撑基板主体11。作为该支撑基板主体11,可以使用氧化铝或钛酸钡等陶瓷材料、以及玻璃环氧等树脂系材料。
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