[发明专利]用于具有优化系统参数的光学计量的设备及方法

权利要求书

1.一种用于具有优化系统参数的光学计量的方法，其包括:

以来自可操作以产生具有入射极角的范围、入射方位角的范围、偏振状态的范围及照明波长的范围中的任何两者以上的可用照明光的照明子系统的照明光照明样本；

将所述可用照明光约束到入射极角的所述范围、入射方位角的所述范围、偏振状态的所述范围及照明波长的所述范围中的所述两者以上中的任一者的子集，以最小化测量盒大小并实现相对于利用所述可用照明光本来能实现的较小的测量盒大小；

产生指示所述样本对所述照明光的响应的多个输出信号；及

至少部分基于所述多个输出信号确定结构参数的估计；

其中所述约束所述可用照明光是至少部分基于对归因于几何效应、光衍射效应、像差效应及所述照明光与所述样本之间的互动中的任一者对测量盒大小的影响的分析。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括:

约束与不同测量技术相关的可用测量信号的集合。

3.根据权利要求1所述的方法，其中每一输出信号指示以不同入射角从所述样本衍射的一定量的光。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述约束所述照明光涉及确定与最小化所述测量盒大小的每一不同入射角相关的照明波长的子集。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述不同入射角范围在55度与75度之间，且其中所述照明波长的所述范围在100纳米与2000纳米之间。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述约束所述可用照明光以最小化所述测量盒大小包括:

确定所述照明光与所述样本之间的相互作用的电磁仿真引擎；及

选择入射极角的所述范围、入射方位角的所述范围、偏振状态的所述范围及照明波长的所述范围中的所述两者以上中的任一者的所述子集，其最小化由所述电磁仿真引擎预测的归因于所述照明光与目标结构之间的所述互动的所述测量盒大小的增大。

7.根据权利要求5所述的方法，其中与大于70度的入射角相关的照明波长的所述子集在190纳米与650纳米之间，且其中与小于70度的入射角相关的照明波长的所述子集在190纳米与800纳米之间。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述约束所述可用照明光以最小化所述测量盒大小包括:

用所述可用照明光执行所述样本的多个测量；

确定多个测量盒大小，每一个测量盒与所述多个测量盒中的每一者相关联；及

选择入射极角的所述范围、入射方位角的所述范围、偏振状态的所述范围及照明波长的所述范围中的所述两者以上中的任一者的所述子集，其最小化基于所述确定的测量盒大小的所述测量盒大小的增大。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述照明光的所述约束涉及以下任一者:将递送到所述样本的所述照明光物理地限制到所述子集；将经散射光的收集限制到与所述子集相关的经散射光；及只选择与用于测量分析的所述子集相关的所述输出信号的部分。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述较小的测量盒大小在任何方向小于30微米。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述较小的测量盒大小在任何方向小于10微米。