[发明专利]净化系统

说明书

相关申请案

本申请案主张以下申请案的优先权：2012年10月1日申请的标题是“具有张力部件的模块化过滤器(Modular Filter With Tension Members)”的第61/708,470号美国临时专利申请案、2013年3月8日申请的标题是“具有张力部件的模块化过滤器及模块化过滤器的歧管(Modular Filter With Tension Members and Manifold for Modular Filters)”的第61/775,051号美国临时专利申请案、2013年4月19日申请的标题是“模块化过滤器的歧管、模块化过滤器匣及连接系统(Manifold for Modular Filters,Modular Filter Cassettes and Connection Systems)”的第61/813,983号美国临时专利申请案、2013年5月23日申请的标题是“具有张力部件的模块化过滤器(Modular Filter with Tension Members)”的第61/826,880号美国临时专利申请案及2013年6月17日申请的标题是“模块化过滤器的歧管、模块化过滤器匣及连接系统(Manifold for Modular Filters,Modular Filter Cassettes and Connection Systems)”的第61/835,884号美国临时专利申请案，其各自针对全部目的以引用方式全部并入本文中。

技术领域

本发明涉及净化及过滤系统。更特定地说，本文中描述的实施例涉及模块化净化及过滤系统。甚至更特定地说，本文中描述的实施例涉及用于净化半导体制造流体的模块化净化及过滤系统。

背景技术

半导体制造工艺对污染极为敏感，因为即使在半导体晶片上沉积小颗粒或其它污染物(金属、非易失性残留物)也可导致缺陷。因此，通常采用具有移除亚微米颗粒、如金属离子的残留物及其它污染物的隔膜的超净净化器。虽然已研发出不同过滤模块以过滤半导体制造液体，但是避免矩形过滤器，因为矩形设计通常不能满足紧凑设计中可承受用于半导体制造的压力的过滤及流速要求。因此，许多现有过滤器模块是圆柱形，具有具备其中驻留过滤器隔膜的单件式圆柱形转筒或套筒的外壳。通常，这些过滤器含有围封在外匣与内部核心之间的圆形折叠式过滤器隔膜。流体从顶部或底部进入过滤器模块，在行进穿过匣之前在套筒之间流动，行进穿过过滤器隔膜到中空核心并退出模块。

现有圆柱形过滤器模块具有若干缺点。一种缺陷是：圆形折叠式隔膜过度限制流体流动，因为隔膜必须朝中心更紧密包装以实现圆形配置。另一缺陷是：圆柱形外壳经模制或挤压成单件，从而使其难以或不可能添加垂直于圆柱轴延伸的几何形状。此外，许多现有过滤器模块难以安装及更换。因为用于半导体制造的许多液体具有腐蚀性或有毒，所以过滤器模块更换对工人有害。

采用圆柱形过滤器的当前过滤系统具有有限可配置度。在许多情况下，过滤器通过多个单元以固定配置连接，使其难以视需要将通过过滤器的流动从连续改变为并行。此外，许多过滤系统只使用单一类型的过滤器，从而限制在单一过滤系统中应用用于不同目的或颗粒大小的不同过滤器的能力。

发明内容

本发明描述模块化净化系统及方法的实施例。根据一个实施例，净化系统可包括大体上矩形可移除式净化器匣及歧管组合件。所述歧管组合件可包括多个连接系统以连接到所述净化器匣。

在一个实施例中，所述净化器匣包括具有第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁及第四侧壁的主体，且可界定介质腔。所述第一侧壁与所述第二侧壁相对且所述第三侧壁与所述第四侧壁相对。所述净化器匣可包含多个端口，其包含流体连接到所述介质腔的第一部分的第一净化器端口及连接到所述介质腔的第二部分的第二净化器端口。所述介质腔的所述第一部分及所述第二部分可由一或多个净化元件彼此分离。一或多个张力部件可耦合到所述介质腔的所述第一侧壁及所述第二侧壁，所述张力部件将所述介质腔分为多个区段。

所述净化器主体可经配置具有加强结构。根据一个实施例，所述加强结构包括延伸可(在一个实施例中)提供双重功能(提供流径及加强所述主体)的装置的长度(或其它长度)的加强肋。所述加强肋可界定弧形、椭圆形或其它圆形流径，借此提供加强拱形件。因此，根据一个实施例，一系列加强拱形件可沿所述侧壁界定所述流径。