[发明专利]具有可离开平面运动的移动质量块的微机电装置

权利要求书

1.一种形成自半导体基底的微机电设备，所述基底具有沿x轴和y轴定义平面的层，垂直于所述层的轴定义为z轴，所述设备包括：

至少一个锚定区域(4、14、24、34、44)，所述锚定区域相对所述基底固定；

至少一个移动质量块，所述移动质量块能够通过绕沿x轴指向的旋转轴旋转，沿z轴离开基底平面；

至少一个变形元件(10、110、210、310、410)，所述变形元件(10、110、210、310、410)将所述移动质量块连接至所述锚定区域(4、14、24、34、44)；和

至少一个探测所述移动质量块的位移的探测组件(3)，其特征在于，

所述移动质量块具有形成支撑结构(8、18、28、38、48)的第一部分以及形成移动质量块的主体(11、111、211、311、411)的第二部分，所述第一部分(8、18、28、38、48)通过变形元件(10、110、210、310、410)与所述锚定区域相连，所述第一部分与第二部分(11、111、211、311、411)通过至少两个柔性部分(7、117、217、227、307、337、437)相连，所述柔性部分形成固定于所述第一部分(8、18、28、38、48)的不同两侧的解耦弹簧，所述第二部分包括至少一个使所述第二部分和所述基底之间配合的区域，形成限制所述移动质量块的第二部分(11、111、211、311、411)相对于所述锚定区域移动的阻挡部(9、119、229、309)。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一部分形成围绕构成所述移动质量块的主体的第二部分的框架。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，形成所述移动质量块的主体的第二部分设置于所述第一分部的边缘。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述柔性部分(7、117)沿y轴相互间隔的距离大于所述移动质量块的内部体(11、111)沿y轴方向的长度的一半。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述柔性部分(7、307)为柔性变形梁。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述柔性部分(117、217、227、337、437)包括多个相互具有非零角的连续片段。

7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备包括至少四个柔性部分(7)，所述柔性部分(7)两两相对设置。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的设备，其特征在于，所述移动质量块的主体(11、111、211、311)的形成阻挡部(9、119、229、309)的区域设置在所述移动质量块的位于所述锚定区域(4、14、24、34)的对面的一侧的前方。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的设备，其特征在于，所述移动质量块的主体(411)的形成阻挡部(429)的区域为固定在所述基底上并配适于所述移动质量块的主体(411)的凹陷部内的台柱。

10.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述阻挡部(9、119、309)在俯视图中呈T形。

11.根据权利要求8-10中任意一项所述的设备，其特征在于，所述阻挡部(119)的侧面具有凸出部。

12.根据权利要求8-11中任意一项所述的设备，其特征在于，所述移动质量块的主体(11、111、311、411)具有基本上与所述阻挡部(9、119、309、429)互补的凹陷部。

13.根据权利要求8-11中任意一项所述的设备，其特征在于，形成侧面阻挡部的所述区域(139)相对于所述移动质量块的侧面设置。

14.根据权利要求13所述的设备，其特征在于，形成所述侧面阻挡部的所述区域(139)具有圆形的突起。

15.根据权利要求1-14中任意一项所述的设备，其特征在于，所述设备包括至少一个沿x轴的第一柔性部分(217)和至少一个沿y轴的第二柔性部分。