[发明专利]感光树脂组合物、抗蚀剂层压体及它们的固化产物

权利要求书

1.感光树脂组合物，其包含：环氧树脂A，多元醇化合物B，阳离子光聚合引发剂C，含环氧基的硅烷化合物D，和反应性环氧单体E；

环氧树脂A包含从下式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇的反应得到的环氧树脂a：

和下式(2)表示的环氧树脂b：

其中m是平均值，表示在2至30范围内的实数，R₁和R₂各自独立地表示氢原子、具有1至4个碳原子的烷基、或三氟甲基，X各自独立地表示氢原子或缩水甘油基，并且存在的多个X中的至少一个是缩水甘油基；

多元醇化合物B包含下式(3)表示的聚酯多元醇：

其中x是平均值，表示在1至15范围内的实数，和R₃表示二价脂族烃基，其可以在碳链内含有至少一个醚键；

和/或下式(4)表示的聚酯多元醇：

其中y是平均值，表示在1至6范围内的实数，和R₄表示三价脂族烃基，其可以在碳链内含有至少一个醚键；和

反应性环氧单体E包含下式(10)表示的环氧化合物和/或下式(11)表示的环氧化合物：

其中R₅表示具有1至11个碳原子的二价脂族烃基；

其中R₆表示具有1至11个碳原子的三价脂族烃基，

相对于所述环氧树脂a的质量，所述环氧树脂b的用量是2质量％～4900质量％，

相对于所述环氧树脂A的总质量，所述多元醇化合物B的掺合比是1质量％至30质量％，

相对于所述环氧树脂A、所述多元醇化合物B和所述反应性环氧单体E的总质量，所述阳离子光聚合引发剂C的掺合比是0.1质量％至15质量％，

相对于所述环氧树脂A、所述多元醇化合物B、所述阳离子光聚合引发剂C和所述反应性环氧单体E的总质量，所述含环氧基的硅烷化合物D的掺合比是1质量％至15质量％，且

相对于所述环氧树脂A和所述多元醇化合物B的总质量，所述反应性环氧单体E的掺合比为2质量％至12质量％。

2.根据权利要求1所述的感光树脂组合物，其中所述反应性环氧单体E包括三羟甲基丙烷三缩水甘油醚。

3.根据权利要求1所述的感光树脂组合物，其中所述含环氧基的硅烷化合物D是含环氧基的烷氧基硅烷化合物。

4.根据权利要求1所述的感光树脂组合物，其还包含溶剂F。

5.根据权利要求4所述的感光树脂组合物，其中相对于包括所述溶剂F的感光树脂组合物的总质量，所述溶剂F的掺合比是5质量％至95质量％。

6.根据权利要求1至5任一项所述的感光树脂组合物的固化产物。

7.抗蚀剂层压体，其包含夹在两个衬底之间的根据权利要求1至5任一项所述的感光树脂组合物。

8.由根据权利要求7所述的抗蚀剂层压体得到的干膜抗蚀剂的固化产物。