[发明专利]气体传感器用的电极及使用了该电极的气体传感器元件

权利要求书

1.一种气体传感器用的电极(12)，其为对被测定气体中的特定气体浓度进行检测的气体传感器元件(1)所具备的、设于氧离子传导性的固体电解质体(11)上的气体传感器用的电极(12)，其特征在于，其含有贵金属和固体电解质而成，且在所述电极(12)的截面上形成有由所述贵金属构成的贵金属区域(121)、由所述固体电解质构成的固体电解质区域(122)和所述贵金属与所述固体电解质在以纳米水平三维地相互进入的状态下发生接触、混在而成的混在区域(123)，该混在区域(123)是指形成了贵金属与固体电解质在以纳米水平三维地进入的状态下发生接触、该状态下的贵金属或固体电解质的至少一部分分别与处于微米水平的贵金属或固体电解质连续的连续相的区域。

2.根据权利要求1所述的气体传感器用的电极(12)，其特征在于，该混在区域(123)中，直径为200nm的圆形区域内未被1根连续的曲线二分成贵金属和固体电解质。

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器用的电极(12)，其特征在于，在所述电极(12)内至少存在下述5μm见方的区域(C)，该5μm见方的区域(C)是在该电极(12)的截面上所述混在区域(123)形成于所述贵金属区域(121)与所述固体电解质区域(122)的整个边界部(120)上的区域。

4.根据权利要求1或2所述的气体传感器用的电极(12)，其特征在于，所述混在区域(123)的最大宽度是该混在区域(123)的最小宽度的50倍以下。

5.根据权利要求1或2所述的气体传感器用的电极(12)，其特征在于，在该电极(12)的截面上，包含所述混在区域(123)的直径为1μm的圆形区域(D)内形成有所述贵金属区域(121)及所述固体电解质区域(122)的至少任一方。

6.根据权利要求1或2所述的气体传感器用的电极(12)，其特征在于，所述固体电解质具有氧离子传导性。

7.根据权利要求1或2所述的气体传感器用的电极(12)，其特征在于，所述贵金属是铂，所述固体电解质是氧化钇稳定化氧化锆。

8.根据权利要求5所述的气体传感器用的电极(12)，其特征在于，包含所述混在区域(123)的直径为1μm的圆形区域(D)内的所述混在区域(123)的比例为80％以下。

9.根据权利要求5所述的气体传感器用的电极(12)，其特征在于，包含所述混在区域(123)的直径为1μm的圆形区域(D)内的所述混在区域(123)的比例为50％以下。

10.一种气体传感器元件(1)，其特征在于，其具备氧离子传导性的固体电解质体(11)、和分别设置于该固体电解质体(11)的一个表面及另一个表面上的被测定气体侧电极(12)及标准气体侧电极(13)，所述被测定气体侧电极(12)是权利要求1～9中任一项所述的气体传感器用的电极(12)。