[发明专利]带电粒子线装置、试样台单元以及试样观察方法

权利要求书

1.一种带电粒子线装置，其特征在于，

具备：

将一次带电粒子线照射到试样上的带电粒子光学镜筒；

形成该带电粒子线装置的一部分，内部由真空泵真空排气的机箱；

能维持上述真空排气的空间的气密状态，且能上述一次带电粒子线透过或通过的第一隔膜；以及

在上述第一隔膜与上述试样之间能使上述一次带电粒子线透过或通过的第二隔膜，

对与上述第二隔膜接触的状态的试样照射上述一次带电粒子线。

2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

具有能搭载上述第二隔膜与上述试样的试样载物台，

能在上述第一隔膜与上述第二隔膜非接触的状态下改变该第一隔膜与该第二隔膜的位置关系。

3.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

能在上述第一隔膜与上述第二隔膜的距离一定的状态下将上述试样导入将上述第二隔膜作为一部分形成的试样保持空间。

4.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

在试样台或试样载物台上配置多个上述第二隔膜。

5.根据权利要求4所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述第二隔膜的窗面积比上述第一隔膜小。

6.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

具有相对于上述第二隔膜配置于上述试样侧的光学式显微镜。

7.一种面向试样观察装置的试样台单元，通过在由使一次带电粒子线透过或通过的第一隔膜，以将载置试样的空间的压力保持为比产生上述一次带电粒子线的带电粒子光学镜筒内部的压力大的方式对载置上述试样的空间进行隔离的状态下向上述试样照射上述一次带电粒子线，观察上述试样，该面向试样观察装置的试样台单元的特征在于，

具备：

使上述一次带电粒子线透过或通过的第二隔膜；

保持上述第二隔膜的保持部件；以及

载置上述第二隔膜的保持部件的试样台，

在由上述第二隔膜、上述保持部件、上述试样台形成的空间内保持试样。

8.根据权利要求7所述的面向试样观察装置的试样台单元，其特征在于，

具有限制上述第一隔膜与上述第二隔膜之间的最小距离的部件。

9.根据权利要求7所述的面向试样观察装置的试样台单元，其特征在于，

在上述试样台上配置多个上述第二隔膜。

10.根据权利要求7所述的面向试样观察装置的试样台单元，其特征在于，

保持上述试样的试样台在与上述第二隔膜对置的面上具有导入上述试样的开口部。

11.根据权利要求7所述的面向试样观察装置的试样台单元，其特征在于，

上述试样保持部件具有上述试样的流道。

12.一种试样观察方法，其特征在于，

具备下述步骤：

从带电粒子光学镜筒照射的一次带电粒子线透过或通过第一隔膜，该第一隔膜以将载置试样的空间的压力保持为比上述带电粒子光学镜筒内部的压力大的方式对载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒的内部的空间进行隔离；

透过或通过上述第一隔膜的上述一次带电粒子线透过或通过第二隔膜；

透过或通过上述第二隔膜的上述一次带电粒子线照射到与上述第二隔膜接触的上述试样；以及

检测通过上述一次带电粒子线的照射而由上述试样产生的信号。

13.根据权利要求12所述的试样观察方法，其特征在于，

在上述第一隔膜与上述第二隔膜非接触的状态下移动保持上述第二隔膜与上述试样的试样载物台，改变上述第一隔膜与上述第二隔膜的位置关系。

14.根据权利要求12所述的试样观察方法，其特征在于，

在上述第一隔膜与上述第二隔膜的距离一定的状态下将上述试样导入将上述第二隔膜作为一部分形成的空间。

15.根据权利要求12所述的试样观察方法，其特征在于，

上述第二隔膜设置多个，

以上述多个第二隔膜中的一部分或全部被通过或透过上述第一隔膜的上述一次带电粒子线照射的方式，移动配置上述多个第二隔膜的试样台。