[发明专利]流体泵

权利要求书

1.一种流体泵(10)，包括：

泵主体(20)，具有流体路径(21)，所述流体路径具有入口(22)和出口(23)，

隔膜(24)，在所述入口与所述出口之间沿着所述流体路径布置，

逆止阀(26，27)，用于控制沿着所述流体路径的流动的方向，以及

隔膜致动单元(30)，

其中所述隔膜致动单元包括不平衡马达(31)。

2.根据权利要求1所述的流体泵，其中所述不平衡马达(31)被固定地连接至所述隔膜(24)。

3.根据权利要求2所述的流体泵，其中所述不平衡马达(31)的马达主体(32)被连接至所述隔膜(24)。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的流体泵，进一步包括运动约束单元(40，60)以约束所述不平衡马达(31)的运动。

5.根据权利要求4所述的流体泵，其中所述运动约束单元(40，60)被配置成约束所述不平衡马达(31)的运动的自由度。

6.根据权利要求5所述的流体泵，其中所述运动约束单元(40，60)被配置成约束所述不平衡马达(31)以大致沿一个平面移动。

7.根据权利要求5或6所述的流体泵，其中所述运动约束单元(60)被配置成将所述不平衡马达(31)枢转地安装至所述泵主体(20)。

8.根据权利要求5至7中的任一项所述的流体泵，其中所述运动约束单元(40，60)被配置成限制所述不平衡马达(31)的运动的幅度。

9.根据权利要求8所述的流体泵，其中所述运动约束单元(40，60)进一步包括幅度调节器使得所述不平衡马达的运动的最大幅度是可调节的。

10.根据权利要求4至9中的任一项所述的流体泵，其中所述运动约束单元(40)包括弹性构件(41)。

11.根据权利要求10所述的流体泵，其中所述弹性构件是板簧(41)。

12.根据权利要求4至11中的任一项所述的流体泵，其中所述运动约束单元(40，60)在所述泵主体(20)上或者在所述泵主体被安装所在的外壳上。

13.根据任一项前述权利要求所述的流体泵，其中所述不平衡马达(31)是低电压DC马达。

14.根据权利要求13所述的流体泵，进一步包括被配置成操作所述不平衡马达(31)以控制所述流体泵的流量的控制器。

15.一种蒸汽发生器(10)，包括根据任一项前述权利要求所述的流体泵(10)。