[发明专利]截断型镜片、截断型镜片对及相应装置的制造

权利要求书

1.一种制造一装置的方法，该装置包含至少两个无源光学器件的套组，该方法包含下列步骤：

A)使用一工具，该工具可由实施工具制造步骤来获得，该工具制造步骤包含下列步骤：

ⅰ)制造具有复制表面的工具前体；

ⅱ)通过将材料从该工具前体上去除来修改该复制表面；

其中下列至少之一：

-该工具前体的该复制表面是旋转对称的，且在步骤ⅱ)中，该复制表面被修改，以使得获得的复制表面不是旋转对称的；

-该套组的该无源光学器件的至少一个是截断型镜片；

其中，

所述方法包括使用所述工具通过具有材料流动控制的浮凸压印制造所述至少两个无源光学器件。

2.根据权利要求1的方法，其中该套组的该无源光学器件的每一个是截断型镜片。

3.根据权利要求1的方法，其中该工具前体的该复制表面被适当地成形，用以通过复制来制造被称为无源光学器件前体的无源光学器件，其中该套组的无源光学器件的无源光学器件可通过将该无源光学器件前体截断而从该无源光学器件前体获得。

4.根据权利要求1的方法，其中该工具是通过实施该工具制造步骤而获得。

5.根据权利要求1的方法，包含实施该工具制造步骤。

6.根据权利要求1的方法，其中步骤A)包含下列步骤：

a1)用该工具制造母版晶圆；

a2)用该母版晶圆制造复制工具；

a3)用该复制工具制造每一套组有至少两个无源光学器件的多个套组，该多个套组包含前述有至少两个无源光学器件的套组。

7.根据权利要求1的方法，其中该装置包含一个套组的光学结构，每一光学结构包含主要部分及至少部分地包围该相应的主要部分的周围部分，其中每一主要部分和该无源光学器件套组的一个无源光学器件相同。

8.根据权利要求7的方法，其中该光学结构的每一个形成一单一部件。

9.根据权利要求7的方法，其中该光学结构中至少两个光学结构的周围部分重叠或部分重合。

10.根据权利要求1的方法，其中步骤A)包括以下列顺序实施下列步骤：

r0)提供基材；

r11)在复制材料的第一部分介于该基材和该工具之间的情形下将该基材和该工具朝向彼此移动；

r12)将该复制材料的该第一部分硬化；

r13)将该基材和该工具移离彼此，该复制材料的被硬化的第一部分留在该基材的第一位置；

r21)在复制材料的第二部分介于该基材和该工具之间的情形下将该基材和该工具朝向彼此移动；

r22)将该复制材料的该第二部分硬化；

r23)将该基材和该工具移离彼此，该复制材料的被硬化的第二部分留在该基材的第二位置，其中该第一位置不同于该第二位置。

11.根据权利要求10的方法，其中该复制材料的被硬化的第一及第二部分彼此相邻。

12.根据权利要求11的方法，其中该复制材料的被硬化的第一及第二部分彼此直接物理接触。

13.根据权利要求10的方法，其中该复制材料的被硬化的第一部分包含该无源光学器件套组的第一无源光学器件，且该复制材料的被硬化的第二部分包含该无源光学器件套组的第二无源光学器件。

14.根据权利要求第10的方法，其中步骤r11)至r23)被实施多次，每一次在该基材的不同的区域。

15.根据权利要求14的方法，其中步骤r11)至r13)被实施于该基材的多个不同的区域内，且在此之后，步骤r21)至r23)被实施在该基材的多个不同的区域内。

16.根据权利要求14的方法，其中步骤r11)至r13)的顺序接下来在该基材的多个不同区域内被实施。

17.根据权利要求1的方法，其中该工具制造步骤包含下列步骤：

i1)制造具有第一复制表面的第一工具前体；

i2)制造具有第二复制表面的第二工具前体；

ii1)通过从该第一工具前体上去除材料来修改该第一复制表面；

ii2)通过从该第二工具前体上去除材料来修改该第二复制表面。