[发明专利]具有可光图案化的软性突出接触表面的静电夹盘

权利要求书

1.一种静电夹盘，其包含：

表面层，其通过电极中的电压活化以形成电荷以将基板以静电方式夹持至该静电夹盘，该表面层包括包含可光图案化的聚合物的多个突出及该多个聚合物突出所黏附的电荷控制层，该多个聚合物突出延伸至在该电荷控制层的包围该多个聚合物突出的部分上方的高度以在该基板的静电夹持期间将该基板支撑于该多个聚合物突出上。

2.如权利要求1的静电夹盘，其中该可光图案化的聚合物包含在烘烤前在室温下为液体的可光图案化的聚合物。

3.如权利要求1的静电夹盘，其中该可光图案化的聚合物包含在烘烤前在室温下为固体的可光图案化的聚合物。

4.如权利要求1的静电夹盘，其中该可光图案化的聚合物包含以环氧树脂为基础的可光图案化的聚合物。

5.如权利要求1的静电夹盘，其中该可光图案化的聚合物包含以聚酰亚胺为基础的可光图案化的聚合物或以苯并环丁烯为基础的可光图案化的聚合物中的至少一个。

6.如权利要求1的静电夹盘，其中该电荷控制层包含碳化硅。

7.如权利要求1的静电夹盘，其中该电荷控制层包含类钻碳。

8.如权利要求1的静电夹盘，其中该电荷控制层包含介于每平方约10⁸奥姆至每平方约10¹¹奥姆之间的表面电阻率。

9.如权利要求1的静电夹盘，其中该等聚合物突出包含介于约3微米与约12微米之间的高度。

10.如权利要求1的静电夹盘，其中该等聚合物突出包含约900微米的直径。

11.如权利要求1的静电夹盘，其进一步包含气体密封环，该气体密封环包含可光图案化的聚合物。

12.如权利要求11的静电夹盘，其中该气体密封环包含以环氧树脂为基础的可光图案化的聚合物、以苯并环丁烯为基础的可光图案化的聚合物及以聚酰亚胺为基础的可光图案化的聚合物中的至少一个。

13.如权利要求1的静电夹盘，其中该多个聚合物突出包含介于约0.02μm与约0.05μm之间的表面粗糙度。

14.如权利要求1的静电夹盘，其中该可光图案化的聚合物包含具有大于约70兆帕斯卡(MPa)的拉伸强度的材料。

15.如权利要求1的静电夹盘，其中该可光图案化的聚合物包含具有小于约3.5千兆帕斯卡(GPa)的杨氏模数的材料。

16.如权利要求1的静电夹盘，其进一步包含传导路径，该传导路径覆盖该静电夹盘的气体密封环的工件接触表面的至少一部分，该传导路径包含至接地的电路径的至少一部分。

17.如权利要求16的静电夹盘，其中该传导路径包含类钻碳。

18.如权利要求16的静电夹盘，其中该可光图案化的聚合物包含在烘烤前在室温下为液体的可光图案化的聚合物，且其中该电荷控制层包含介于每平方约10⁸奥姆至每平方约10¹¹奥姆之间的表面电阻率。

19.一种静电夹盘，其包含：

表面层，其通过电极中的一电压活化以形成电荷以将基板以静电方式夹持至该静电夹盘，该表面层包括包含传导性聚合物的多个突出及该多个聚合物突出所黏附的电荷控制层，该多个聚合物突出延伸至在该电荷控制层的包围该多个聚合物突出的部分上方的高度以在该基板的静电夹持期间将该基板支撑于该多个聚合物突出上。

20.如权利要求19的静电夹盘，其中该传导性聚合物包含来自由以下各个组成的群的聚合物：碳奈米管与聚合物的掺合物；及掺杂有传导性奈米粒子的聚合物。

21.一种制造静电夹盘的方法，该方法包含：

经由光罩使该静电夹盘的表面上的可光图案化的聚合物曝露至光，该静电夹盘包含在该可光图案化的聚合物的至少一部分下面的电荷控制层；及

基于该表面经由该光罩至该光的曝光图案而移除该静电夹盘的该表面的区域，通过在该静电夹盘的该表面上形成多个聚合物突出，该多个聚合物突出所黏附该电荷控制层且延伸至在该电荷控制层的包围该多个聚合物突出的部分上方的高度。