[发明专利]银基透明电极

权利要求书

1.用于光伏电池的透明电极，其包含以下顺序的层：

-衬底；

-第一介电层，其离开该衬底按顺序包含

○基于硅的(氧)氮化物和/或铝的(氧)氮化物的基底层，

○基于Zn和Sn的氧化物的层，

○基于金属氧化物和/或硅的(氧)氮化物的分隔层，

和

○基于Zn的氧化物的顶层；

-银基功能层和

-阻挡层

-

-其中每个层直接位于按顺序在其之前直接出现的层上。

2.根据权利要求1的电极，还包含第二介电层，该第二介电层包含ZnO：Al层。

3.根据权利要求2的电极，其中该第二介电层还包含位于阻挡层与ZnO：Al层之间的ZnSnO_x层。

4.根据权利要求1-3中任一项的电极，其中基于硅的(氧)氮化物和/或铝的(氧)氮化物的基底层具有从20nm到40nm的厚度。

5.根据权利要求1-4中任一项的电极，其中下减反射层的基于Zn和Sn的氧化物的层具有从1nm到8nm的厚度。

6.根据前述任一项权利要求的电极，其中下减反射层的基于Zn和Sn的氧化物的层直接位于基于硅的(氧)氮化物和/或铝的(氧)氮化物的基底层上。

7.根据前述任一项权利要求的电极，其中基于金属氧化物和/或硅的(氧)氮化物的分隔层具有从0.5nm到5nm的厚度。

8.根据前述任一项权利要求的电极，其中当分隔层基于金属氧化物时，所述分隔层包含Ti、NiCr、InSn、Zr、Al和/或Si的氧化物层。

9.根据前述任一项权利要求的电极，其中分隔层还包括一种或多种其它化学元素，该一种或多种其它化学元素选自以下元素Ti、V、Mn、Co、Cu、Zn、Zr、Hf、Al、Nb、Ni、Cr、Mo、Ta中的至少一种或选自基于这些材料中的至少一种的合金。

10.根据前述任一项权利要求的电极，其中基于Zn的氧化物的顶层具有从3nm到10nm的厚度。

11.根据前述任一项权利要求的电极，其中银基功能层具有从5nm到13nm的厚度。

12.根据前述任一项权利要求的电极，其中下减反射层中基于Zn的氧化物的顶层与银基功能层直接接触。

13.根据前述任一项权利要求的电极，其中阻挡层具有从1nm到10nm的厚度。

14.根据权利要求1的电极，其包含：

-衬底；

-第一介电层，其离开该衬底按顺序包含

○Si_xN_y基底层，

○ZnSnO_x层，

○TiO₂层，和

○ZnO：Al顶层；

-银层和

-阻挡层，其离开该银层按顺序包含

○ZAO层，

○ZnSnO_x层和

○ZAO层。

15.根据权利要求14的电极，其还包含第二介电层，该第二介电层包含ZnO：Al层。

16.根据权利要求15的电极，其中该第二介电层还包含ZnSnO_x层。

17.根据权利要求16的电极，其中该ZnSnO_x层位于ZnO：Al层与最顶上的ZAO层之间。

18.根据前述任一项权利要求的电极，其中该第二减反射层厚度小于130nm。

19.根据权利要求18的电极，其中该第二减反射层厚度大于110nm。

20.光伏电池，其包含根据前述任一项权利要求的电极。