[发明专利]感光性树脂组合物、硬化物及其制造方法、树脂图案制造方法、硬化膜及其应用

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于包括：

作为成分A，含有具有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物，

作为成分B，不具有芳香族醚键及酚基、且具有环氧基和/或氧杂环丁基的化合物，

作为成分C，金属氧化物粒子，

作为成分D，光酸产生剂，以及

作为成分E，溶剂；

其中所述成分B为脂环式环氧化物或脂肪族环氧化物。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中成分C为氧化钛粒子或氧化锆粒子。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其还包括成分F分散剂。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中成分F含有具有至少一种酸基的分散剂。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其中成分F含有由下述式(S)表示、且具有至少一种酸基的分散剂，

式(S)中，R³表示m+n价的连结基，R⁴及R⁵分别独立地表示单键或二价的连结基，A²表示含有至少一种如下的部分结构的一价的有机基，所述部分结构选自由有机色素结构、杂环结构、酸基、具有碱性氮原子的基、脲基、氨基甲酸酯基、具有配位性氧原子的基、碳数为4以上的烃基、烷氧基硅烷基、环氧基、异氰酸酯基及羟基所组成的群组，n个A²、R⁴可相同，也可不同，m表示0～8，n表示2～9，m+n为3～10，P²表示高分子骨架，m个P²、R⁵可相同，也可不同。

6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中所述具有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元为由下述式所表示的构成单元，

式中，R¹²¹表示氢原子或碳数为1～4的烷基，L¹表示羰基或亚苯基，R¹²²～R¹²⁸分别独立地表示氢原子或碳数为1～4的烷基。

7.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中成分D为肟磺酸酯化合物。

8.一种硬化物的制造方法，其特征在于：至少依次包括步骤a～步骤c：

a：涂布步骤，将根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上；

b：溶剂去除步骤，自所涂布的树脂组合物中去除溶剂；以及

c：热处理步骤，对去除了溶剂的树脂组合物进行热处理。

9.一种树脂图案制造方法，其特征在于：至少依次包括步骤1～步骤5：

1：涂布步骤，将根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上；

2：溶剂去除步骤，自所涂布的树脂组合物中去除溶剂；

3：曝光步骤，利用光化射线将去除了溶剂的树脂组合物曝光成图案状；

4：显影步骤，利用水性显影液对经曝光的树脂组合物进行显影；以及

5：热处理步骤，对经显影的树脂组合物进行热处理。

10.一种硬化物，其是利用根据权利要求8所述的硬化物的制造方法、或根据权利要求9所述的树脂图案制造方法而获得。

11.一种硬化膜，其是使根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物硬化而形成。

12.根据权利要求11所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。

13.一种液晶显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。

14.一种有机电致发光显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。

15.一种触摸屏显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。