[发明专利]冷头、超电导磁铁、检查装置以及低温泵

权利要求书

1.一种冷头，所述冷头具备载物台，所述载物台具有蓄冷材粒子群；和将所述蓄冷材粒子群分隔的金属网材，其特征在于，

所述金属网材具有长边的长度在所述蓄冷材粒子群的平均粒径的1/10以上、1/2以下的四角形状的网孔。

2.如权利要求1所述的冷头，其特征在于，所述金属网材具有被编织成网状，且线径在20μm以上、90μm以下的金属线。

3.如权利要求1所述的冷头，其特征在于，所述金属网材是铜网材。

4.如权利要求1所述的冷头，其特征在于，所述载物台具有多个所述金属网材的叠层，

所述多个金属网材被叠层。

5.如权利要求4所述的冷头，其特征在于，所述多个金属网材中的所述网孔的一边的长度不同。

6.如权利要求4所述的冷头，其特征在于，所述多个金属网材被叠层成所述网孔的位置不一致。

7.如权利要求1所述的冷头，其特征在于，所述载物台

具有分别充填了由所述金属网材分隔，且种类不同的所述蓄冷材粒子群的多个蓄冷材充填层。

8.如权利要求1所述的冷头，其特征在于，所述蓄冷材粒子群是从铅蓄冷材粒子群、钬铜蓄冷材粒子群、铒镍蓄冷材粒子群、铒钴蓄冷材粒子群、钆硫氧化物蓄冷材粒子群以及钆铝氧化物粒子群选出的至少1种。

9.如权利要求1所述的冷头，其特征在于，所述载物台具有由所述金属网材分隔的3个以上的区域。

10.如权利要求1所述的冷头，其特征在于，具备：具有蓄冷材的第1载物台；和

由所述载物台构成的第2载物台。

11.如权利要求1所述的冷头，其特征在于，在使所述蓄冷材粒子的各自的投影像的周长为L，使所述投影像的实际面积为A时，用L²/4πA表示的形状因子R超过1.5的所述蓄冷材粒子的比率在5％以下。

12.如权利要求1所述的冷头，其特征在于，所述蓄冷材粒子群的平均粒径在200μm以上、300μm以下，

在所述蓄冷材粒子群中，粒径在150μm以上、350μm以下的范围的所述蓄冷材粒子的个数比例在95％以上。

13.一种超电导磁铁，其特征在于，具备权利要求1所述的冷头。

14.一种检查装置，其特征在于，具备权利要求1所述的冷头。

15.一种低温泵，其特征在于，具备权利要求1所述的冷头。