[发明专利]具有交替的导电层和不导电层的多层构造

权利要求书

1.一种用于制造层构造（1）的方法，该方法至少包含下列步骤：

a.提供衬底（2），

b.将第一液体（12）施加到衬底（2）的至少一部分上，

c.使第一液体（12）干燥，其中形成第一层（4），

d.将第二液体（14）施加到第一层（4）的至少一部分上，

e.使第二液体（14）干燥，其中形成第二层（6），

其中

A）衬底（2）和第二层（6）为导电的并且第一层（4）为绝缘的，或者

B）衬底（2）和第二层（6）为绝缘的并且第一层（4）为导电的。

2.根据权利要求1所述的方法，其中步骤b至e重复至少一次。

3.根据前述权利要求之一所述的方法，其中第二层（6）与第一层（4）的面积比例小于1。

4.根据前述权利要求之一所述的方法，其中所述至少一个绝缘层（4, 4', 6, 6'）包含选自由下列各项构成的组的至少一种化合物：TiO₂、SiO₂、TiO₂、SiO₂、Ta₂O₅、ZrO₂、Al₂O₃或其中至少两种的混合物。

5.根据前述权利要求之一所述的方法，其中所述至少一个导电层（4，4'，6，6'）包含选自由下列各项构成的组的至少一种化合物：铟锡氧化物、锑锡氧化物、铝锌氧化物、金属和金属合金或者其中至少两种的混合物。

6.根据前述权利要求之一所述的方法，其中衬底（2）选自由下列各项构成的组：玻璃、TiO₂、SiO₂、Ti₂O₃、Ta₂O₅、ZrO₂、钢、CoCr合金、NiCoCrMo合金、Pt、Au、Ag、W、Ir、Ti、Nb、Ta、NiTi合金或者其中至少两种的混合物。

7.根据前述权利要求之一所述的方法，其中第一液体（12）或第二液体（14）或两种液体（12, 14）的干燥在50至500℃的温度下进行。

8.一种能根据前述权利要求之一获得的层构造（1）。

9.一种层构造（1），包括至少三个层（2, 4, 4', 6, 6'），其中层构造（1）以如下顺序具有所述层（2, 4, 4', 6, 6'）：

i.衬底（2）；

ii.第一层（4）；

iii.第二层（6），

其中

A）衬底（2）和第二层（6）为导电的并且第一层（4）为绝缘的，或者

B）衬底（2）和第二层（6）为绝缘的并且第一层（4）为导电的。

10.根据权利要求9所述的层构造（1），包括另外的层（4', 6'），其中每个另外的第一层（4'）与至少一个第二层（6, 6'）相邻。

11.根据前述权利要求8至10之一所述的层构造（1），其中衬底（2）具有小于10kΩ的表面电阻。

12.根据权利要求8至11之一所述的层构造（1），其中所述层（2, 4, 4', 6, 6'）中的至少一个层在干燥后的层厚度处于0.05至10μm的范围中。

13.根据权利要求8至12之一所述的层构造（1），其中衬底（2）选自由下列各项构成的组：玻璃、TiO₂、SiO₂、Ti₂O₃、Ta₂O₅、ZrO₂、钢、CoCr、NiCoCrMo合金、Pt、Au、Ag、W、Ir、Ti、Nb、Ta、NiTi或者其中至少两种构成的混合物。

14.根据权利要求8至13之一所述的层构造（1），其中衬底（2）和所述层（2, 4, 4', 6, 6'）中的至少一个层是生物相容的。

15.一种测量装置（30），包含根据权利要求8至14之一或根据权利要求1至7的方法的至少一个层构造（1）。