[发明专利]用于二维地偏转激光束的扫描装置

权利要求书

1.一种扫描装置(1)，用于借助于两个分别绕轴线(21a、21b)可枢转地支承的、马达驱动的镜(11a、11b、12a、12b)二维地偏转激光束(2a、2b)，所述扫描装置具有第一马达镜单元(7a、7b)并且具有用于固定所述第一马达镜单元(7a、7b)的载体(3)，所述第一马达镜单元具有第一镜(11a、11b)连同驱动马达(5a、5b)，其中，提供至少两个分别具有装配法兰(6a、6b)的第一马达镜单元(7a、7b)，所述第一马达镜单元分别具有相同的接触面(18)并且在镜大小和/或镜位置方面相互不同并且所述装配法兰可选地能够利用所述接触面(18)可拆卸地固定在所述载体(3)的相同的第一安装面(8)上，所述至少两个第一马达镜单元(7a、7b)中的一个第一马达镜单元(7a)具有薄的装配法兰(6a)，和所述至少两个第一马达镜单元(7a、7b)中的另一个第一马达镜单元(7b)具有较厚的装配法兰(6b)。

2.如权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，具有第二镜(12a、12b)连同驱动马达(17a、17b)的第二马达镜单元(15a、15b)为了固定在所述载体(3)上具有装配法兰(16a、16b)，所述装配法兰能够利用接触面(19)可拆卸地固定在所述载体(3)的第二安装面(14)上。

3.如权利要求2所述的扫描装置，其特征在于，提供至少两个分别具有装配法兰(16a、16b)的第二马达镜单元(15a、15b)，所述第二马达镜单元分别具有相同的接触面(19)并且在镜大小和/或镜位置方面相互不同并且所述装配法兰可选地能够可拆卸地固定在所述载体(3)的相同的第二安装面(14)上。

4.如权利要求2所述的扫描装置，其特征在于，所述载体(3)具有壁，所述壁具有接收开口(13a、13b)以用于将所述马达镜单元(7a、7b、15a、15b)至少部分地配合到所述载体(3)中。

5.如权利要求4所述的扫描装置，其特征在于，所述接收开口(13a、13b)的轮廓与多个能够可选地布置的马达镜单元(7a、7b、15a、15b)的不同的镜大小或不同的镜位置相适应。

6.如权利要求4或5所述的扫描装置，其特征在于，所述接收开口(13a、13b)构造成长形孔。

7.如权利要求1-5中任一项所述的扫描装置，其特征在于，所述载体(3)具有用于所述激光束(2a、2b)的入射开口(4)，所述入射开口的开口横截面与多个能够可选地布置的马达镜单元(7a、7b)的不同的镜大小或不同的镜位置相适应。

8.如权利要求1-5中任一项所述的扫描装置，其特征在于，所述载体(3)具有用于所述激光束(2a、2b)的入射开口(4)，所述入射开口能够至少部分地用不同的孔板(22a、22b)覆盖，所述孔板的孔开口(23a、23b)在直径或相对位置方面相互不同。

9.如权利要求1-5中任一项所述的扫描装置，其特征在于，所述载体(3)至少部分地形成所述扫描装置(1)的壳体(9)。

10.如权利要求1-5中任一项所述的扫描装置，其特征在于，在所述载体(3)上能够固定不同的保持装置(24a、24b)，所述保持装置将扫描物镜(25a、25b)相对于所述扫描装置(1)的镜(11a、11b、12a、12b)分别以不同的距离定位。

11.如权利要求7所述的扫描装置，其特征在于，所述入射开口(4)构造成长形孔。

12.一种由多个用于如前述权利要求中任一项所述的扫描装置的马达镜单元(7a、7b、15a、15b)构成的组(20)，其中，所述马达镜单元(7a、7b、15a、15b)分别具有镜(11a、11b、12a、12b)连同驱动马达(5a、5b、17a、17b)以及带有分别相同的接触面(18、19)的不同装配法兰(6a、6b、16a、16b)，其中，各个马达镜单元(7a、7b、15a、15b)在镜大小或镜位置方面相互不同。