[发明专利]光学装置组件

说明书

技术领域

本发明涉及一种光学装置组件，其具有一光学装置保持件，一反射光学装置固定在所述光学装置保持件上，该反射光学装置用于使入射到所述光学装置上的激光射束转向。在公知的光学装置组件中，所述反射光学装置(例如反射镜)通过该反射光学装置的一个侧面(例如反射镜的背侧)全表面地与光学装置保持件(反射镜保持件)连接。替换地，所述反射光学装置也通过边缘侧的部分(例如反射镜的周向侧)或前侧的部分固定在所述光学装置保持件上。

背景技术

反射光学装置和光学装置保持件的这样的单侧全表面连接然而具有不同的问题。通过在入射点中入射到所述反射光学装置上的激光射束，将热输入到反射光学装置中(下面称作光学中心)，该热导致反射光学装置变热。被输入的热通过连接部位给出到所述光学装置保持件上或导出到所述光学装置保持件上，由此出现从激光射束的视为热源的入射点到看作为散热器的光学装置保持件的热流。不仅在开始的短暂状态中(例如就在接通激光之后不久或就在激光射束入射到所述反射光学装置上之后不久)而且在稳定状态中(在持续较长时间的激光运行之后)，在前述热源和散热器之间通过导热出现温度降(温度梯度)，从而使得光学构件(反射光学构件和光学装置保持件)相应于它们的分别局部存在的温度和与它们的在所有情况下不同的热伸长系数相关地被局部不同地伸长。

这些不同的几何伸长导致出现构件中的应力，这些应力会导致构件的翘曲。另一方面，构件、尤其是反射光学装置的几何伸长或形变，结合所述光学装置保持件上的单侧全表面固定造成：反射光学装置的空间位态通过温度影响被改变并会导致激光射束从它的额定位置出来的不希望的偏转。例如可以由于前述的温度影响拱曲所述反射光学装置以及平移式移动所述反射光学装置，由此所述激光射束在所述反射光学装置上的入射点以及相应的入射垂线就空间中的位置和定向而言发生改变。但是，这对于激光运行而言是不利的，因为激光射束由此会越来越多地朝一可能不希望的方向偏转。此外，构件的不同的、温度造成的伸长在两个构件的连接部位上最强地表现出，这导致连接部位的特别大的机械负载。

为了克服这些缺点或问题，已知的是为了所述反射光学装置与光学装置保持件的连接使用特别厚的弹性粘接层。这样的(厚的、弹性的)粘接层可以至少部分地平衡在两个构件的连接部位上的伸长区别。但是，在对于光学元件的精确性的高要求上，该解决方案是不合适的，因为厚的粘接层会对湿气改变和温度改变作出反应。此外可以进行的是：所述粘接层非连贯地具有准确不变的厚度，从而使得出现其它不对称起作用的影响。此外，厚的粘接层的长硬化时间是不利的。此外，厚粘接层可以阻止到光学装置保持件中的导热并由此导致反射光学装置中的不希望的蓄热。涉及两个构件的温度造成的伸长区别的另一已知的措施是选择钛作为用于光学装置保持件的材料，由此一般减小了热伸长的差别。但是，钛作为材料在购置中是比较贵的并且尽管如此仅相对困难地可以加工。另外的解决可能性设置了反射光学装置在所述光学装置保持件上的借助于能相对运动的导向装置和弹动元件的机械上耗费的、能相对运动的支承。但是，这以不利的方式伴随不能精确检测的摩擦效应。

发明内容

本发明的任务是提供一种光学装置组件，通过所述光学装置组件可以以简单的方式克服或至少减少了现有技术的缺点。尤其地，激光射束的不希望的、支承造成和温度造成的偏转应当被减小或阻止。