[发明专利]图像生成装置及图像生成方法

权利要求书

1.一种图像生成装置，生成表示样品的样品图像，其特征在于包括：

激光光源部，射出激光；

转换部，将所述激光转换为合波光，其中，所述合波光是通过来自所述样品的反射而生成的反射光和通过调制所述激光的相位而生成的参照光合波所形成的光；

第1信号生成部，生成与所述合波光的光量相应的第1检测信号；

图像生成部，生成所述样品图像；以及

调制部，调制所述相位使所述合波光的所述光量产生周期性变化，其中，

所述第1检测信号，包含表示所述周期性变化从增加转向减少的信号成分，

所述图像生成部，利用所述信号成分生成所述样品图像。

2.根据权利要求1所述的图像生成装置，其特征在于：

所述转换部包含分波部和物镜，所述分波部将所述激光分波为用于生成所述反射光的第1分波光和用于生成所述参照光的第2分波光，所述物镜将所述第1分波光聚光到所述样品，

所述样品的平均折射率为n，

所述合波光的波长为λ，

所述物镜的数值孔径为NA，

所述数值孔径NA满足用NA＞(0.186111nλ-0.00865934λ²)^0.5表示的关系。

3.根据权利要求2所述的图像生成装置，其特征在于：

所述调制部包含反射部和位移机构，其中，所述反射部反射所述第2分波光而生成所述参照光，所述位移机构使所述反射部沿着所述第2分波光的光路位移而引起所述周期性变化。

4.根据权利要求3所述的图像生成装置，其特征在于：

在所述合波光的所述光量经过1周期性变化的区间内，所述位移机构使所述反射部位移。

5.根据权利要求2所述的图像生成装置，其特征在于：

所述调制部包含具有在电光效应下变化的折射率且通过反射所述第2分波光而生成所述参照光的反射机构，

所述反射机构使所述折射率变化而引起所述周期性变化。

6.根据权利要求5所述的图像生成装置，其特征在于：

在所述光量经过1周期性变化的范围内，所述反射机构使所述折射率变化。

7.根据权利要求2至6中任一项所述的图像生成装置，其特征在于：

所述转换部包含将所述样品和所述物镜生成的焦点之间的相对位置关系在沿着所述第1分波光的光路的方向进行调整的位置调整部。

8.根据权利要求7所述的图像生成装置，其特征在于：

所述转换部包含用于修正所述第1分波光的球面像差的第1修正部，

所述第1修正部基于所述位置关系修正所述球面像差。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的图像生成装置，其特征在于：

所述转换部包含将所述第2分波光聚光到所述调制部的聚光元件。

10.根据权利要求9所述的图像生成装置，其特征在于：

所述转换部包含在所述聚光元件与所述调制部之间修正像差的第2修正部。

11.根据权利要求2至10中任一项所述的图像生成装置，其特征在于：

所述分波部合波所述反射光和所述参照光而生成所述合波光，

所述转换部包含规定所述合波光透过的第1透过区域的的第1规定部和将所述合波光聚光到所述第1透过区域的第1聚光部，

所述第1检测信号表示通过了所述第1透过区域的所述合波光的所述光量。

12.根据权利要求11所述的图像生成装置，其特征在于：

所述合波光包含0次干涉光和比所述0次干涉光高次的高次干涉光，

在所述第1信号生成部生成所述信号成分的期间，透过所述第1透过区域的所述0次干涉光的光量大于所述高次干涉光的光量。