[发明专利]具有提供额外稳定状态的突起的机电系统装置

权利要求书

1.一种机电系统EMS装置，其包括：

衬底；

静止电极，其在所述衬底上方；

可移动电极，其在所述静止电极上方，且经配置以通过所述可移动电极与所述静止电极之间的静电致动而移动到横越间隙的三个或三个以上位置；以及

突起，其连接到所述EMS装置的表面，其中所述突起经配置以在横越所述间隙的所述位置中的一者处接触所述EMS装置的另一表面时改变所述EMS装置的硬度，且其中接触所述突起的所述表面中的至少一者为非刚性。

2.根据权利要求1所述的EMS装置，其进一步包括多个系栓，所述多个系栓对称地安置于所述可移动电极的边缘周围，其中所述突起为多个突起的部分，且所述突起中的每一者连接到所述系栓中的每一者。

3.根据权利要求2所述的EMS装置，其进一步包括多个支柱，所述多个支柱在所述衬底上方，其中所述可移动电极由所述多个系栓而连接到所述多个支柱。

4.根据权利要求2所述的EMS装置，其中所述可移动电极包含具有刚性表面的反射层，且所述多个系栓包含多个铰链，每一铰链具有非刚性表面。

5.根据权利要求1所述的EMS装置，其中所述突起连接到所述可移动电极的面对所述静止电极的表面。

6.根据权利要求1所述的EMS装置，其中所述突起连接到所述衬底的面对所述可移动电极的表面。

7.根据权利要求1所述的EMS装置，其中所述突起为多个突起的部分，所述多个突起对称地安置于所述可移动电极的中心周围。

8.根据权利要求1所述的EMS装置，其中所述EMS装置为光学装置的部分。

9.根据权利要求8所述的EMS装置，其中所述EMS装置为模拟干涉调制器AIMOD的部分。

10.根据权利要求9所述的EMS装置，其中横越所述间隙的所述三个或三个以上位置对应于所述位置中的每一者中的不同可见光波长，其中横越所述间隙的所述位置中的一者至少部分地由所述突起的高度界定。

11.根据权利要求9所述的EMS装置，其中当所述突起接触所述EMS装置的另一表面时，所述突起界定对应于稳定色彩范围的横越所述间隙的多个位置。

12.根据权利要求1所述的EMS装置，其中所述突起具有大于约20nm的高度。

13.根据权利要求12所述的EMS装置，其中所述突起具有介于约100nm与约200nm之间的高度。

14.根据权利要求1所述的EMS装置，其中所述突起为多个突起的部分，所述突起中的每一者具有不同高度。

15.根据权利要求1所述的EMS装置，其进一步包括顶部电极，所述顶部电极在所述可移动电极上方，其中所述可移动电极经配置以通过所述可移动电极与所述顶部电极之间的静电致动而横越上部间隙移动。

16.根据权利要求1所述的EMS装置，其中所述EMS装置形成显示器，所述显示器包含：

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；以及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

17.根据权利要求16所述的EMS装置，其进一步包括：

驱动器电路，其经配置以将至少一个信号发送到所述显示器；以及

控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。

18.根据权利要求16所述的EMS装置，其进一步包括：

图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送到所述处理器，其中所述图像源模块包括接收器、收发器和发射器中的至少一者。

19.根据权利要求16所述的EMS装置，其进一步包括：

输入装置，其经配置以接收输入数据且将所述输入数据传达到所述处理器。