[发明专利]用于局部镀覆的预处理方法、用于铝材料的局部镀覆方法和用于镀覆铝材料的抗蚀剂

权利要求书

1.用于局部镀覆的预处理方法，其包括：

在由铝材料构造成的基底上，由九氟己基三甲氧基硅烷和三氟丙基三甲氧基硅烷的混合物形成自组装单分子层作为抗蚀剂；和

对所述基底施以锌酸盐处理。

2.根据权利要求1的预处理方法，其中九氟己基三甲氧基硅烷与三氟丙基三甲氧基硅烷之间的混合比为4:6至6:4。

3.根据权利要求1或2的预处理方法，其中所述锌酸盐处理是两次锌酸盐处理。

4.根据权利要求1至3任一项的预处理方法，其进一步包括：

在所述锌酸盐处理之前通过曝光从所述基底上除去一部分自组装单分子层，该部分自组装单分子层对应于要镀覆的基底部分。

5.局部镀覆铝材料的方法，其包括：

在由铝材料构造成的基底上，通过根据权利要求1至4任一项的方法进行局部镀覆的预处理；和

在所述基底上实施镀覆处理。

6.根据权利要求5的局部镀覆方法，其中通过实施镀覆处理形成的镀层是镍镀层。

7.用于镀覆铝材料的抗蚀剂，其包含：

九氟己基三甲氧基硅烷；和

三氟丙基三甲氧基硅烷。

8.根据权利要求7的抗蚀剂，其中九氟己基三甲氧基硅烷与三氟丙基三甲氧基硅烷之间的混合比为4:6至6:4。