[发明专利]金属材料的表面状态的评价装置、透明基材的视认性评价装置、其评价程序及记录有其的电脑可读取记录媒体

说明书

技术领域

本发明涉及一种金属材料的表面状态的评价装置、透明基材的视认性评价装置、其评价程序及记录有其的电脑可读取记录媒体。

背景技术

于智能型手机或平板PC等小型电子机器中，由于配线的容易性或轻量性，而采用可挠性印刷配线板(以下，记作FPC)。近年来，通过这些电子机器的高功能化，信号传输速度的高速化取得进展，于FPC中阻抗(impedance)匹配亦成为重要的要素。作为对于信号容量增加的阻抗匹配的对策，不断推进成为FPC的基底的树脂绝缘层(例如，聚酰亚胺)的厚层化。另一方面，FPC虽被实施朝液晶基材的接合或IC晶片的搭载等加工，但此时的位置对准是经由通过于对铜箔与树脂绝缘层的积层板中的铜箔进行蚀刻后残留的树脂绝缘层而视认的定位图案来进行，因此，树脂绝缘层的视认性及对其产生影响的积层于树脂绝缘层的铜箔的表面状态变得重要。

作为此种树脂绝缘层的视认性的评价方法，于专利文献1中是观察通过CCD(charge-coupled device，电荷耦合器件)相机隔着树脂绝缘层而拍摄的图像进行评价。又，于专利文献2中，评价于利用CCD相机自相对于评价对象的树脂绝缘层的水平面呈30°的角度拍摄到的图像中测试图案是否产生应变而映出。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开2003-309336号公报

[专利文献2]日本特开2006-001056号公报。

发明内容

[发明所欲解决的课题]

然而，事实上，若如专利文献1般利用CCD相机观察而单纯地观察图像，则视认性评价的精度有限，若不于生产线上实际地制作，则无法判断是否可隔着透明基材视认为了进行位置对准等而设置的标记，于制造成本方面存在问题。即便为如专利文献2般评价于该图像中测试图案是否产生应变而映出的方法，该情况亦同样。而且，若视认性评价的精度如此低，则积层于树脂绝缘层的铜箔的表面状态的评价的精度亦变低。

本发明提供一种可高效率且准确地评价金属材料的表面状态的金属材料的表面状态的评价装置、透明基材的视认性评价装置、其评价程序及记录有其的电脑可读取记录媒体。

[解决课题的技术手段]

本发明者等人经过反复锐意研究，结果发现，于将金属材料贴合于透明基材的至少一面之后，通过蚀刻去除金属材料，并隔着透明基材拍摄通过蚀刻而去除该金属材料后存在于透明基材的下方的标记，着眼于自该标记部分的图像获得的观察点-亮度曲线图中所描绘的标记端部附近的亮度曲线，对该亮度曲线进行评价，由此可不受透明基材的种类或透明基材的厚度的影响而高效率且准确地评价透明基材的视认性，由此，可高效率且准确地评价积层于透明基材的金属材料的表面状态。

基于以上见解而完成的本发明于一方面中是一种金属材料的表面状态的评价装置，该装置具备以下单元：摄影单元，其于将金属材料的表面贴合于透明基材的至少一面之后，通过蚀刻去除上述金属材料的至少一部分，并隔着上述透明基材拍摄于通过蚀刻而去除该金属材料后存在于上述透明基材的下方的标记；观察点-亮度曲线图制作单元，其对于通过上述拍摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮度而制作观察点-亮度曲线图；及金属材料表面状态评价单元，其于上述观察点-亮度曲线图中，根据自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率评价上述透明基材的视认性，并基于上述视认性的评价结果评价金属材料的表面状态；上述金属材料表面状态评价单元将自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的顶部平均值Bt与底部平均值Bb的差设为ΔB(ΔB＝Bt－Bb)，使用Sv进行透明基材的视认性的评价，并基于上述透明基材的视认性的评价结果评价金属材料的表面状态，上述Sv是于在上述观察点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与Bt的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为t1，将表示于自亮度曲线与Bt的交点至以Bt为基准0.1ΔB为止的深度范围内，亮度曲线与0.1ΔB的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为t2时，由下述(1)式进行定义。

Sv＝(ΔB×0.1)/(t1－t2) (1)