[发明专利]用于分离两个基板的设备有效

专利信息
申请号: 201380046479.6 申请日: 2013-09-03
公开(公告)号: CN104737281B 公开(公告)日: 2017-06-09
发明(设计)人: 迪迪埃·朗德吕 申请(专利权)人: 索泰克公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司11127 代理人: 吕俊刚,刘久亮
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 分离 两个 设备
【权利要求书】:

1.一种用于在“分离的”界面处分离两个基板的设备,这两个基板中的至少一个意在使用在电子设备、光学设备、光电设备和/或光伏设备中,这两个基板共同形成一种结构,该设备包括:

-固定器(1);

-保持构件(2,2'),该保持构件(2,2')用于保持所述结构,所述构件安装在所述固定器(1)上;

-分离工具(3,3',3″,3″'),该分离工具(3,3',3″,3″')用于分离所述两个基板,也安装在所述固定器(1)上;和

-第一装置(4)和/或第二装置(5),该第一装置(4)用于移动所述分离工具(3,3',3″,3″'),该第二装置(5)用于移动所述保持构件(2,2'),所述第一装置(4)和所述第二装置(5)使所述分离工具(3,3',3″,3″')和/或所述保持构件(2,2')能够相对于所述固定器(1)移动,以使所述分离工具(3,3',3″,3″')和/或所述保持构件(2,2')更加靠近在一起或移动所述分离工具(3,3',3″,3″')和/或所述保持构件(2,2')使其进一步远离彼此,所述分离工具(3,3',3″,3″')和/或所述保持构件(2,2')在有限的行进范围内移动,

该用于在“分离的”所述界面处分离所述两个基板的设备的特征在于,所述分离工具(3,3',3″,3″')包括前沿(30,30',30″,30″'),该前沿(30,30',30″,30″')在横截面中连续从其梢部(320',320″)或其前边缘(323,303″)至其后部具有由展开部(33,33',33″,33″')延伸的锥形部(32,32',32″,32″'),

其中,所述分离工具(3,3')的所述锥形部(32,32')具有等腰三角形横截面,所述锥形部的梢部处的角(α)小于30°,并且所述展开部(33,33')具有等腰梯形横截面,所述展开部的梢部处的角(β)大于30°,并且,所述分离工具(3,3',3″,3″')具有穿过其梢部(320',320″')或其前边缘(323,303″)的纵向的垂直对称面(P1,P2,P3,P4)。

2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述锥形部(32,32')的等腰三角形的高度(H1)包括在2mm至20mm之间,所述展开部(33,33')的等腰梯形的高度(H2)包括在10mm至100mm之间,并且,所述展开部(33,33')的梯形底部齐平处测得的所述分离工具(3,3')的厚度(e)大于所述锥形部(32,32')的梢部处的角(α)的一半的正切值与所述锥形部(32,32')的梢部处的高度(H1)的乘积的两倍。

3.根据权利要求1或2所述的设备,其特征在于,所述分离工具(3,3″)的前沿(30,30″)是细长的直线元件。

4.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述分离工具(3,3',3″,3″')由具有低摩擦系数的材料制成,或由覆盖有润滑剂的材料制成。

5.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述保持构件(2,2')包括垂直保持槽(21,21'),所述垂直保持槽(21,21')为圆拱形,垂直保持槽(21,21')包括底部(210,210')和两个侧壁(211,211';212,212'),该两个侧壁(211,211';212,212')朝上并且朝向外部倾斜,并且使得在所述两个侧壁(211,211';212,212')之间的角(α)大于或等于8°,该槽允许所述结构或所述两个基板保持在垂直或基本垂直的位置,并且所述第一装置(4)和/或所述第二装置(5)确保所述分离工具(3,3',3″,3″')和/或保持构件(2,2')在垂直平面内移动。

6.根据权利要求5所述的设备,其特征在于:

-所述保持槽(21,21')具有穿过其底部(210,210')的纵向的垂直对称面(P5,P6);

-所述保持构件(2,2')和所述分离工具(3,3',3″,3″')安装在所述固定器(1)上,使得所述分离工具(3,3',3″,3″')位于所述保持构件(2,2')上方,并且使得所述保持构件(2,2')和所述分离工具(3,3',3″,3″')的相应的垂直对称面(P1,P2,P3,P4,P5,P6)是一致的。

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