[发明专利]用于产生电子束的装置

权利要求书

1.用于产生电子束(4、4')的装置(20、21、22、22')，包括

——热阴极(1)，

——阴极电极(2)，

——具有开口(6)的阳极电极(3)，由所述装置(20、21、22、22')产生的电子束(4、4')能够穿过该开口，其中，在装置运行时，在阴极电极(2)和阳极电极(3)之间施加有用于加速从热阴极(1)射出的电子的电压，

——偏转机构，该偏转机构能够偏转穿过阳极电极(3)的开口的电子束(4、4')，

其特征在于，所述偏转机构包括至少一个偏转电极(8、12)，在所述偏转电极上电子束(4、4')能够被反射和所述偏转电极具有相对于电子束(4、4')的传播方向倾斜的偏转面(9)，并且

所述至少一个偏转电极(8、12)处于与阴极电极(2)相同的电势上。

2.按照权利要求1所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，在所述至少一个偏转电极(8、12)的偏转面(9)上的法线与在热阴极(1)和在所述至少一个阳极电极(3)中的开口(6)之间的连接线形成在0°至90°之间的角(β)。

3.按照权利要求1或2所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述至少一个偏转电极(8、12)连接到与阴极电极(2)相同的电压源(7)上。

4.按照权利要求1或2所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述装置(20、21、22、22')包括另外的电极(10、13)，所述另外的电极相对于所述至少一个偏转电极(8、12)具有正电势并且能使电子在与所述至少一个偏转电极(8、12)相互作用之后加速。

5.按照权利要求1或2所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述至少一个偏转电极(8、12)的偏转面(9)是弯曲的。

6.按照权利要求4所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述热阴极(1)构成为金属丝并且沿着设置成垂直于电子束(4、4')传播方向的纵向方向延伸，以实现电子束(4、4')的线形横截面，其中，线形横截面的纵向方向平行于形成热阴极(1)的金属丝的纵向方向。

7.按照权利要求6所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，用作热阴极(1)的金属丝和/或所述阴极电极(2)和/或所述阳极电极(3)和/或所述至少一个偏转电极(8、12)和/或所述另外的电极(10、13)被沿着形成热阴极(1)的金属丝的纵向方向划分成多个区段。

8.按照权利要求6所述的装置，其特征在于，所述阴极电极(2)和/或所述阳极电极(3)和/或所述至少一个偏转电极(8、12)和/或所述另外的电极(10、13)沿着形成热阴极(1)的金属丝的纵向方向无横截面变化地延伸。

9.按照权利要求6所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述阴极电极(2)和/或所述阳极电极(3)和/或所述至少一个偏转电极(8、12)和/或所述另外的电极(10、13)沿着形成热阴极(1)的金属丝的纵向方向具有至少一种结构，所述结构能实现沿着线形横截面的纵向方向调制电子束(4、4')。

10.按照权利要求1或2所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述至少一个偏转电极(8、12)的偏转面(9)是能运动的。

11.按照权利要求1或2所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述热阴极(1)、阴极电极(2)和阳极电极(3)的构造和/或驱控与皮尔斯-电子枪的构造和/或驱控相当。

12.按照权利要求1或2所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述偏转机构包括两个互相对置的电极(15、16)，在这两个互相对置的电极之间施加交变电压，电子束(4、4')能够通过该交变电压偏转，使得电子束(4)的束轮廓由此能够有针对性地形成。

13.按照权利要求12所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述交变电压具有大于10kHz的频率。

14.按照权利要求1或2所述的装置(20、21、22、22')，其特征在于，所述装置(20、21、22、22')包括加热机构，该加热机构能够对所述至少一个偏转电极(8、12)加热。