[发明专利]用于检测在结构元件试样中材料的特性的检验装置和方法

权利要求书

1.一种用于检测包含在至少一个结构元件试样(1)中的至少一种材料的特性的检验装置(100)，所述检验装置包括：

-测量设备(10)，利用所述测量设备能在所述结构元件试样(1)上检测电测量值，和

-模拟与评价设备(20)，所述模拟与评价设备被安置用于将模拟函数匹配于所述电测量值，所述模拟函数包含作为参数的所述结构元件试样(1)的特性，其中，

-设置有输出设备(30)，所述输出设备被安置用于从所述被匹配的模拟函数中输出所述材料特性，

其特征在于具有

-控制设备(40)，利用所述控制设备能依赖于存储的、试样特定的控制函数来控制所述测量设备(10)和所述模拟与评价设备(20)中的至少一个。

2.根据权利要求1所述的检验装置，在所述检验装置中，所述控制设备(40)包括如下特征中的至少一个：

-所述控制设备(40)被安置用于在所述测量设备(10)上调整电测量范围和/或几何的测量条件和/或环境条件，

-所述控制设备(40)被安置用于由使用者限定地改变所述控制函数，并且

-所述控制设备(40)被安置用于依赖于所述控制函数地控制所述模拟设备(20)。

3.根据前述权利要求中任一项所述的检验装置，所述检验装置包括：

-过滤装置(50)，利用所述过滤装置能从所述电测量值的至少一个数据集中选出成组的用于输入到所述模拟设备(20)的有效数据。

4.根据权利要求3所述的检验装置，在所述检验装置中，

-所述过滤装置(50)利用所述控制设备(40)能依赖于所述存储的、试样特定的控制函数来控制。

5.根据权利要求3或4所述的检验装置，在所述检验装置中，

-所述过滤装置(50)被安置用于从所述电测量值的至少一个数据集中过滤出错误的测量值，并且/或者使所述数据集经受用于获得所述有效数据的基于模型的匹配，并且/或者调整所述有效数据的经优化的数量，并且/或者使所述优选数据经受加权。

6.根据前述权利要求中任一项所述的检验装置，在所述检验装置中，

-所述测量设备(10)被安置用于检测作为测量值的依赖于被施加到所述结构元件试样(1)的电压的电流值和/或检测依赖于被施加到所述结构元件试样(1)的电压和所述电压的频率的阻抗值，

-所述测量设备(10)被安置用于检测依赖于所述结构元件试样(1)的温度的测量值，且/或

-所述测量设备(10)被安置用于检测依赖于时间的测量值。

7.根据权利要求6所述的检验装置，在所述检验装置中，

-所述模拟与评价设备(20)被安置用于将电流-电压模拟函数、阻抗模拟函数和/或瞬态模拟函数匹配于所述电测量值。

8.根据前述权利要求中任一项所述的检验装置，所述检验装置包括：

-一致性测试设备(60)，所述一致性测试设备被安置用于使来自被匹配的模拟函数的所述结构元件试样(1)的特性经受一致性测试。

9.根据前述权利要求中任一项所述的检验装置，在所述检验装置中，

-所述输出设备(30)被安置用于作为材料特性地输出能量级，特别是最高占据分子轨道(“Highest Occupied Molecular Orbital”，HOMO)和/或最低占据分子轨道(“Lowest Unoccupied Molecular Orbital”，LUMO)、载流子迁移率和/或电作用的陷阱态，特别是污物、杂质和/或缺陷。

10.一种用于检测被包含在至少一个结构元件试样(1)中的至少一种材料的特性的方法，所述方法具有如下步骤：

-在所述至少一个结构元件试样(1)上检测电测量值，

-将模拟函数匹配于所述电测量值，所述模拟函数包含作为参数的所述至少一个结构元件试样(1)的特性，并且

-从所述被匹配的模拟函数中输出所述至少一个结构元件试样(1)的特性，

其特征在于具有如下步骤

-控制所述检测电测量值和依赖于存储的、试样特定的控制函数匹配模拟函数的步骤中的至少一个。

11.根据权利要求10所述的方法，在所述方法中，

-所述控制检测电测量值包括对电测量范围和/或几何测量条件和/或环境条件的调整。