[发明专利]压电材料、压电元件和电子装置

权利要求书

1.压电材料，包括0.04摩尔％-2.00摩尔％的Cu，相对于1摩尔的由下述通式(1)表示的金属氧化物，

通式(1)((Na_1-zLi_z)_xBa_1-y)(Nb_yTi_1-y)O₃

式中，0.70≤x≤0.99，0.75≤y≤0.99，和0＜z＜0.15。

2.根据权利要求1的压电材料，其中在通式(1)中，0.75≤y≤0.89成立。

3.根据权利要求1或2的压电材料，其中在通式(1)中，x＜y成立。

4.压电元件，包括：

第一电极；

压电材料部；和

第二电极，

其中构成该压电材料部的压电材料是根据权利要求1-3的任一项的压电材料。

5.层叠压电元件，其中将压电材料层和包括内部电极的电极交替地层叠，其中构成该压电材料层的压电材料是根据权利要求1-3的任一项的压电材料。

6.根据权利要求5的层叠压电元件，其中该内部电极含有Ag和Pd，并且含有的Ag的重量(M1)与含有的Pd的重量(M2)的重量比M1/M2满足1.5≤M1/M2≤9.0。

7.根据权利要求5的层叠压电元件，其中该内部电极含有N i和Cu的至少一种。

8.根据权利要求5-7的任一项的层叠压电元件的制造方法，包括下述步骤：

在步骤(A)中通过将至少含有Na、Li、Ba、Nb、Ti和Cu的金属化合物分散而制备浆料；

在步骤(B)中由该浆料制备压实体；

在步骤(C)中在该压实体上形成电极；和

在步骤(D)中通过将通过使该含有金属化合物的压实体与电极交替地层叠而形成的压实体烧结从而制备层叠压电元件，

其中步骤(D)中的烧结温度为1,200℃以下。

9.排液头，包括：

设置有振动部的液室，该振动部设置有根据权利要求4的压电元件或根据权利要求5-7的任一项的层叠压电元件；和

与该液室连通的排出孔。

10.排液装置，包括：

记录介质传送部；和

根据权利要求9的排液头。

11.超声波马达，包括：

振动部件，其设置有根据权利要求4的压电元件或根据权利要求5-7的任一项的层叠压电元件；和

与该振动部件接触的移动部件。

12.光学装置，其在驱动部中包括根据权利要求11的超声波马达。

13.振动装置，其包括振动部件，该振动部件在膜片上设置有根据权利要求4的压电元件或根据权利要求5-7的任一项的层叠压电元件。

14.除尘装置，其在振动部中包括根据权利要求13的振动装置。

15.摄像装置，包括：

根据权利要求14的除尘装置；和

摄像元件单元，

其中将该除尘装置的膜片设置在该摄像元件单元的受光表面侧。

16.电子装置，包括压电声部件，该压电声部件设置有根据权利要求4的压电元件或根据权利要求5-7的任一项的层叠压电元件。