[发明专利]压电材料、压电元件和电子装置有效
| 申请号: | 201380044802.6 | 申请日: | 2013-08-21 |
| 公开(公告)号: | CN104603083A | 公开(公告)日: | 2015-05-06 |
| 发明(设计)人: | 上田未纪;渡边隆之;村上俊介 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
| 主分类号: | C04B35/468 | 分类号: | C04B35/468;C04B35/495;H01L41/187 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李英 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压电 材料 元件 电子 装置 | ||
1.压电材料,包括:
主要成分,其包括由式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物:
(NaxBa1-y)(NbyTi1-y)O3
其中,0.80≤x≤0.94和0.83≤y≤0.94,和
添加成分,其包括选自Mn和Ni中的至少一种元素,其中
Ni的含量为0摩尔-0.05摩尔,基于1摩尔的该钙钛矿型金属氧化物;和
Mn的含量为0摩尔-0.005摩尔,基于1摩尔的该钙钛矿型金属氧化物,条件是Mn的含量和Ni的含量两者不同时为0摩尔。
2.根据权利要求1的压电材料,还包括0.01摩尔以下(不包括0摩尔)的Cu,基于1摩尔的该钙钛矿型金属氧化物。
3.根据权利要求1或2的压电材料,其中满足式(1)中x<y的要求。
4.压电陶瓷,包括压电材料,其中
该压电材料包括根据权利要求1-3的任一项的压电材料作为主要成分;并且
在构成该压电陶瓷的晶粒内存在Mn。
5.压电陶瓷,包括压电材料,其中
该压电材料包括根据权利要求1-3的任一项的压电材料作为主要成分;并且
在构成该压电陶瓷的晶粒的晶界处存在Ni。
6.压电元件,至少包括第一电极、压电材料部和第二电极,其中
该压电材料部由根据权利要求1-3的任一项的压电材料构成。
7.多层压电元件,包括交替层叠的压电材料层和包括内部电极的电极,其中
该压电材料层由根据权利要求1-3的任一项的压电材料构成。
8.根据权利要求7的多层压电元件,其中该内部电极包括Ag和Pd,并且Ag的重量含量M1与Pd的重量含量M2的重量比M1/M2满足1.5≤M1/M2≤9.0。
9.根据权利要求7的多层压电元件,其中该内部电极包括Ni和Cu的至少一种。
10.根据权利要求7-9的任一项的多层压电元件的制备方法,包括:
(A)通过将至少含有Na、Nb、Ba、Ti、和从Ni和Mn中选择的至少一种元素的金属化合物粉末分散而制备浆料;
(B)由该浆料制备未烧结的压实体;
(C)通过在该未烧结的压实体上形成电极并且将该含有金属化合物的未烧结的压实体和电极交替地层叠而形成层叠物;和
(D)通过将该层叠物烧结而制备多层压电元件,其中
在1200℃以下的烧结温度下进行步骤(D)中的烧结。
11.排液头,至少包括:设置有振动单元的液室,该振动单元包括根据权利要求6的压电元件或根据权利要求7-9的任一项的多层压电元件;和与该液室连通的排出口。
12.排液器件,包括:用于传送记录介质的传送单元;和根据权利要求11的排液头。
13.超声波马达,至少包括:振动部件,该振动部件包括根据权利要求6的压电元件或根据权利要求7-9的任一项的多层压电元件;和与该振动部件接触的可移动部件。
14.光学装置,包括设置有根据权利要求13的超声波马达的驱动单元。
15.振动器件,包括设置有根据权利要求6的压电元件或根据权利要求7-9的任一项的多层压电元件的振动部件。
16.除尘器件,包括设置有根据权利要求15的振动器件的振动单元。
17.摄像器件,至少包括根据权利要求16的除尘器件和摄像元件单元,其中该除尘器件具有设置在该摄像元件单元的受光面侧的膜片。
18.电子装置,包括设置有根据权利要求6的压电元件或根据权利要求7-9的任一项的多层压电元件的压电声部件。
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