[发明专利]磁盘用玻璃基板、磁盘

说明书

技术领域

本发明涉及磁盘用玻璃基板和磁盘。

背景技术

如今，在个人计算机或DVD(Digital Versatile Disc)记录装置等中内置有用于记录数据的硬盘装置(HDD：Hard Disk Drive)。特别是在笔记本型个人计算机等以移动性为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁记录层的磁盘，利用在磁盘的面上方略微悬浮的磁头对磁记录层记录或读取磁记录信息。作为该磁盘的基板，由于具有比金属基板(铝基板)等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻璃基板。

另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用垂直磁记录方式进行磁记录信息区域(记录位(bit))的微细化，在垂直磁记录方式中，使磁记录层中的磁化方向相对于基板的面为垂直方向。垂直磁记录方式的磁盘在金属基板或玻璃基板上依次成膜有例如附着层、软磁性层(SUL：Soft Under Layer)、基底层、磁记录层、保护层、润滑层等。通过采取垂直磁记录方式，可以增大1张盘片基板中的存储容量。进一步，为了进一步增大存储容量，还进行通过使磁头的记录再现元件部更加突出，从而极大地缩短其与磁记录层之间的距离，进一步提高信息的记录再现精度(提高S/N比)。另外，这种磁头的记录再现元件部的控制被称作DFH(Dynamic Flying Height：动态飞行高度)控制机构，配备该控制机构的磁头被称作DFH头。与这种DFH头组合用于HDD的磁盘用玻璃基板为了避免与磁头或从磁头进一步突出的记录再现元件部之间的碰撞和接触，按照使基板的表面凹凸极小的方式进行制作。

另一方面，已知有，磁盘用玻璃基板的表面形状对在基板上成膜的磁记录层中的磁性粒的特定的晶面，例如Co(002)面或Ru(002)面的晶体取向方差(Δθ50；晶体相对于垂直方向的偏差)产生影响。Δθ50被计算为如下情况中的峰值的半值宽度，即，使用X-射线衍射装置进行θ/2θ的测定，从磁记录层的晶面的峰值顶起测定2θ值，将2θ固定并进行了θ扫描。该晶体取向方差Δθ50是表示易磁化轴的方差的指标，该值越小越优选。通过改善Δθ50(使其接近零)，能够使磁特性良好，并提高信噪比(SNR)，因此，能够进一步提高记录密度。

关于晶体取向方差(Δθ50)，在对比文件1中记载了如下的磁盘用玻璃基板：以提高磁记录层的晶体取向方差(Δθ50)以及提高SNR为目的，并不是以表面粗糙度Ra为基准，而是使方均根倾斜角的值成为规定值以下(例如为5度以下，更优选为3度以下)。

此外，在对比文件2中记载了设表面粗糙度Ra满足Ra≤0.15nm，并且使平均倾斜角为2度以下的磁盘用玻璃基板。通过采用该基板，能够降低Δθ50从而降低介质噪声(使用130Gbpsi相当的TMR头，按照825kbpi的线记录密度来评价)。另外，在线记录密度为825kbpi的情况下，记录位长度(以下，表示基于线记录密度的计算值)在30nm程度。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】日本特开2009-140584号

【专利文献2】日本特开2008-293552号

发明内容

发明所要解决的问题

近年来，为了实现例如2.5英寸尺寸且600GB/P以上的高记录密度，磁头的记录再现元件部的突出量增加，与磁盘之间的间隙变得极小，结果能够进行利用比以往更高的高记录密度的写入。今后，认为磁盘的进一步的高记录密度化将得到发展，并认为来自被高记录密度化的磁盘的再现信号的SNR的提高变成更重要的要素。

因此，本发明的目的在于提供能够使比以往被更高记录密度化的磁盘的再现信号的SNR提高的磁盘用玻璃基板和磁盘。

用于解决问题的手段

发明人发现了磁盘用玻璃基板的主表面的表面粗糙度中的形状波长(凹凸的周期)的成分(波长成分)之中的特定范围的波长成分对磁性粒的晶面的取向有较大的影响。