[发明专利]光学装置和显微镜

权利要求书

1.显微镜上的光学装置，带有照明机构、分光机构(2)和反射镜机构(5)，所述照明机构用于产生在照明侧上伸展的照明光线(1)，所述分光机构(2)用于将照明光线(1)分成至少两个分光束(3、4)，和所述反光镜机构(5)将分光束(3、4)反射到照明范围(6)，对样品(7)进行平面照明，其特征在于设置在与照明侧相背的照明范围(6)侧上的检测光学机构(8)。

2.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，设置在照明侧的照明光学机构(9)与检测光学机构(8)同轴。

3.按照权利要求1或2所述的装置，其特征在于，反光镜机构(5)具有一组或多组反光镜或平板反光镜，或一个环形反光镜或多个环形反光镜段。

4.按照权利要求1至3中任一项所述的装置，其特征在于，分光机构(2)具有偏振光学机构或用于光瞳分光的器件，优选为反射或透射器件，或至少一个棱镜或光阑(33)，其中分光机构(2)优选为模块结构。

5.按照权利要求1至4中任一项所述的装置，其特征在于，在分光机构(2)后面设有用于由分光束(3、4)分别产生片光源的机构(10)，其中所述机构(10)优选为模块结构。

6.按照权利要求5所述的装置，其特征在于，所述用于分别产生片光源的机构(10)具有柱面光学机构或扫描器(35)。

7.按照权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，分光束(3、4)或片光源与光轴具有预定间隔并平行于光轴或在光轴附近并与光轴的夹角不等于0°。

8.按照权利要求1至7中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置具有用于控制和/或影响照明光线(1)的相干性的机构(11)，其中所述机构(11)优选为模块结构。

9.按照权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置具有用于控制和/或影响分光束(3、4)或照明范围(6)内片光源的干涉能力的机构。

10.按照权利要求1至9中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置具有用于对偏振状态和/或至少一个分光束(3、4)或片光源的相干长度进行选择性影响的机构。

11.按照权利要求1至10中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置具有用于对至少一个分光束(3、4)或片光源进行相位变化的机构。

12.按照权利要求1至11中任一项所述的装置，其特征在于，相对于照明范围(6)或相对于样品(7)，分光束(3、4)或片光源的入射方向的偏振角度是可调的或可变化的，其中优选分光机构(2)和尤为优选的是分光机构(2)和反光镜机构(5)可以以光轴为圆心旋转。

13.显微镜，具有按照权利要求1至12任一项所述的光学装置。