[发明专利]安装方法有效
申请号: | 201380041827.0 | 申请日: | 2013-03-11 |
公开(公告)号: | CN104520976B | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 植田充彦;佐名川佳治;明田孝典;林真太郎 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | H01L21/52 | 分类号: | H01L21/52;B23K20/00;H01L21/60 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 王琼先,王永建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 安装 方法 | ||
1.一种将芯片安装在基板上的安装方法,每个所述芯片均为LED芯片,所述方法包括:
将芯片临时地、单独地接合在基板上的临时接合过程;以及
将临时接合在基板上的芯片牢固地、单独地接合在基板上的主要接合过程,
所述临时接合过程是根据要安装在基板上的芯片的数目反复地执行第一基本过程,所述第一基本过程包括:
将每个芯片的第二金属层对齐在基板的第一金属层上的第一步骤;
所述第一金属层具有:
被构造为无助焊剂的AuSn层的第一层,和
被构造为位于所述第一层上的Au层的第二层,且所述第二金属层被构造为Au层;以及
通过在第一步骤之后在第一金属层的平坦的第一接合表面与所述第二金属层的平坦的第二接合表面相接触的状态下从每个芯片侧施加压力以使第一和第二金属层固相扩散接合而将每个芯片临时接合在基板上的第二步骤,
所述主要接合过程是根据基板上的芯片数目反复地执行第二基本过程,所述第二基本过程包括:
识别临时安装在基板上的每个芯片的位置的第三步骤;以及
通过在第三步骤之后从每个芯片侧施加压力以使第一和第二金属层液相扩散接合而将每个芯片牢固地接合在基板上的第四步骤,
其中所述固相扩散接合为超声接合或表面活化接合,
其中所述固相扩散接合以第一限定温度执行,所述第一限定温度设置在常温至100℃之间,并且
通过从每个芯片侧和基板侧中至少一侧施加热,所述液相扩散接合以高于第一限定温度并且还高于AuSn的熔化温度的第二限定温度执行。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造