[发明专利]TiAlN‑涂层工具有效
| 申请号: | 201380041300.8 | 申请日: | 2013-07-23 |
| 公开(公告)号: | CN104520472B | 公开(公告)日: | 2017-09-12 |
| 发明(设计)人: | 法伊特·席尔;乌尔里希·阿尔伯斯 | 申请(专利权)人: | 瓦尔特公开股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C28/04 | 分类号: | C23C28/04;C23C28/00;C23C30/00;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人: | 张爽,郭国清 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | tialn 涂层 工具 | ||
1.一种包含基体和以PVD工艺施加至所述基体的单层或多层耐磨保护涂层的工具,所述基体由硬质金属、金属陶瓷、陶瓷或钢制成,所述耐磨保护涂层中的至少一层是其中x+y=1的钛铝氮化物TixAlyN层,其特征在于
所述TixAlyN层是具有至少40个周期性交替的Tix(A)Aly(A)N涂层(A)和Tix(B)Aly(B)N涂层(B)的多涂层亚结构,其中x(A)+y(A)=1,x(B)+y(B)=1,
涂层(B)中的Al浓度y(B)最多占67原子%(y(B)≤0.67),和涂层(B)中的Al浓度y(B)比涂层(A)中的Al浓度y(A)高10至25原子%(y(B)=(y(A)+0.10)至(y(A)+0.25)),
所述Tix(A)Aly(A)N涂层(A)中Ti与Al的浓度比x(A):y(A)为0.45:0.55至0.55:0.45,并且
所述TixAlyN层的维氏硬度HV为2500至4000HV 0.015,所述TixAlyN层在10μm长度上测量的平均表面粗糙度Ra≤1.0μm,并且所述TixAlyN层的弹性模量(E-模量)为380GPa至470GPa。
2.根据权利要求1所述的工具,其特征在于所述钛铝氮化物TixAlyN层根据工艺含有最高达5重量%的其它金属。
3.根据权利要求1所述的工具,其特征在于所述耐磨保护涂层中的所述至少一个TixAlyN层具有至多300个周期性交替的Tix(A)Aly(A)N涂层(A)和Tix(B)Aly(B)N涂层(B)。
4.根据前述权利要求中的任一项所述的工具,其特征在于所述Tix(A)Aly(A)N涂层(A)的厚度在2至40nm的范围内,和所述Tix(B)Aly(B)N涂层(B)的厚度在1至20nm的范围内。
5.根据权利要求4所述的工具,其特征在于所述Tix(A)Aly(A)N涂层(A)的厚度在4至15nm的范围内。
6.根据权利要求4所述的工具,其特征在于所述Tix(B)Aly(B)N涂层(B)的厚度在2至7nm的范围内。
7.根据权利要求1至3中的任一项所述的工具,其特征在于所述Tix(A)Aly(A)N涂层(A)的厚度是所述Tix(B)Aly(B)N涂层(B)的厚度的1.5至3.0倍。
8.根据权利要求1至3中的任一项所述的工具,其特征在于所述Tix(A)Aly(A)N涂层(A)中Ti与Al的浓度比x(A):y(A)为0.50:0.50。
9.根据权利要求1至3中的任一项所述的工具,其特征在于所述具有多涂层亚结构的TixAlyN层为所述耐磨保护涂层的最外层。
10.根据权利要求9所述的工具,其特征在于所述工具至少在特定区域具有叠加的薄的磨损检测层,所述叠加的薄的磨损检测层的厚度为0.1至1.5μm。
11.根据权利要求10所述的工具,其特征在于所述叠加的薄的磨损检测层是TiN或ZrN层。
12.根据权利要求1至3中的任一项所述的工具,其特征在于所述工具为整体硬质金属工具或可转位刀具刀片。
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