[发明专利]电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子显微镜及用于电子显微镜的试样保持装置。

背景技术

就使试样在高温下与气体反应并利用电子显微镜实时观察其状况的装置而言，在专利文献1中记载了如下例子，在电子显微镜等上装配有用于向对试样进行加热的加热器吹出气体的毛细管的试样支架，并观察在高温下的气体反应。另外，专利文献2记载了气体从横向导入并在试样支架上下具有电子束通过用开口的例子。另外，专利文献3记载了在试样进入内部的毛细管上具有旋转机构，并设于显微镜的工作台上的例子。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-187735号

专利文献2：日本特开昭51-267号公报

专利文献3：日本特开平10-206748号

发明内容

发明所要解决的课题

在上述现有技术中，就使隔膜重合，对气体环境与真空进行分隔的盒内导入气体及液体的结构而言，需要以气体及液体不会从盒中泄漏的方式粘接盒部件，或者使用垫圈等进行封闭来防止泄漏，所以存在盒的组装及向试样支撑部的安装复杂之类的问题。另外，存在封闭不充分导致气体及液体泄漏之类的问题。

另外，就上述其他现有技术而言，是为了在光学显微镜下进行试样的立体观察而在毛细管内部装填试样并一边旋转一边进行观察的方法，并未考虑用于电子显微镜这一点。另外，也未考虑在毛细管内部填充用于与试样反应的气体或液体的点、或者在该环境中进行试样的加热或施加电压并观察其反应的点。

本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境、或气液混合环境，并以高分辨率观察其中的试样及其反应。

用于解决课题的方法

鉴于上述课题，本发明具有以下构成。一种电子显微镜，具备释放一次电子束的电子源、将从上述电子源释放的电子束聚焦并照射于试样的电子束控制单元、检测从试样产生的电子的检测器、基于来自上述检测器的信号而制成试样图像的运算装置、显示上述试样图像的显示单元、存储上述所显示的试样图像的单元、以及保持上述试样的试样保持单元，该电子显微镜的特征在于，上述试样配置于上述电子束能通过的毛细管内部，具有向上述毛细管内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。

发明效果

根据本发明，能以简单的构成在电子显微镜的试样室内形成含有试样的微小气体空间或微小液体空间或其混合空间，并能在其中对试样加热或施加电压，从而以高分辨率观察试样的变化。

附图说明

图1是本发明的一实施例的电子束装置的基本构成图。

图2是一实施例的电子显微镜用试样保持装置前端部的基本构成图。

图3是一实施例的电子显微镜用试样保持装置前端部。

图4是一实施例的电子显微镜1试样预备排气室及电子显微镜用试样保持装置的构成图。

图5(a)是一实施例的电子显微镜用试样保持装置前端部的俯视图，图5(b)是其剖视图。

图6是一实施例的电子显微镜用试样保持装置前端部的俯视图。

图7是一实施例的电子显微镜用试样保持装置前端部的俯视图。

图8是实施例的电子显微镜用试样保持装置前端部。

具体实施方式

图1表示本发明的一实施例的电子显微镜1的基本构成图。电子显微镜1的镜体包括电子枪2、聚光透镜3、物镜4以及投射透镜5。在物镜4之间插入有电子显微镜用试样保持装置6。在投射透镜5的下方安装荧光板7，在荧光板7下安装TV摄像机8。TV摄像机8通过图像显示部9a连接于图像存储部9b，也能进行动画的拍摄。图像存储部9b连接于试样环境控制部10。

在聚光透镜3、物镜4之间配置有用于差动排气的节流件11。在电子枪2及聚光透镜3之间、聚光透镜3及物镜4之间、电子显微镜试样室12、观察室13分别通过阀14连接于不同的真空泵15。在电子显微镜用试样保持装置6上具备圆筒形或方形毛细管17，该毛细管17在前端部具有电子束16能透过的厚度的部分，毛细管的入口17a及出口端面17b与电子显微镜1的镜体外连通。毛细管的入口端面17a通过阀18连接于气体液体供给装置19。气体液体供给装置19由流量控制部19a及贮藏部19b构成，并连接于环境控制部10。