[发明专利]干涉距离测量装置和对应方法

权利要求书

1.一种用于测量表面(4)的干涉距离测量装置，该干涉距离测量装置至少包括

-可调谐激光器，该可调谐激光器具有用于生成利用波长斜坡调制的测量辐射的相干长度，其中，所述激光器的所述相干长度限定测量范围，

-光束路径，该光束路径具有

○发送光学单元，该发送光学单元用于将所述测量辐射发射到所述表面(4)上，

○接收光学单元，该接收光学单元用于接收从所述表面反向散射的所述测量辐射，

○干涉仪，该干涉仪由测量臂和基准臂构成，

-辐射检测器和估计单元，所述辐射检测器和所述估计单元用于确定从所述距离测量装置的基准点至所述表面(4)的距离，

其特征在于，

借助于至少一个分束器(13、20、20)，限定用于平行发射测量辐射的n≥2个通道，所述n≥2个通道在每种情况下被分配有针对指定的发射时刻的所述波长斜坡的不同的子范围，其中，所有通道在经过所述波长斜坡的过程期间同时地或者连续地发射。

2.根据权利要求1所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述波长斜坡被分成相同宽度的n个波长带，其中，每一个所述通道都被分配有一个所述波长带。

3.根据权利要求1或2所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述波长斜坡的所述子范围通过色分离来生成。

4.根据权利要求3所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述分束器(13)是阵列波导光栅。

5.根据权利要求3所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述色分离通过用于耦合输出所述波长斜坡的子范围的色分束器来实现，该色分束器设置在所述发送光学单元的、直接布置在发射的上游的组件内。

6.根据权利要求1或2所述的距离测量装置，

其特征在于，

发送光学单元和接收光学单元被实施为组合的发送与接收光学单元(10b)，所述组合的发送与接收光学单元(10b)经由单模光纤耦接至所述辐射检测器。

7.根据权利要求1或2所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述通道按线状或矩阵状方式设置在所述发送光学单元中。

8.根据权利要求1或2所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述通道在每种情况下分配有由所述相干长度限定的所述测量范围的不同的子范围。

9.根据权利要求8所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述通道在每种情况下分配有借助于不同长度的延迟区段、由所述相干长度限定的所述测量范围的不同的子范围。

10.根据权利要求9所述的距离测量装置，

其特征在于，

至少一个所述通道在焦点和过渡套管之间具有单个长度δL_i，所述长度通过作为延迟区段的相应的玻璃部件来确定。

11.根据权利要求1或2所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述用于测量表面(4)的干涉距离测量装置根据光学相干断层成像原理。

12.根据权利要求1或2所述的距离测量装置，

其特征在于，

该干涉仪具有测量臂和基准臂的局部公共射束路径。

13.根据权利要求2所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述波长斜坡被离散地分开。

14.根据权利要求6所述的距离测量装置，

其特征在于，

所述组合的发送与接收光学单元(10b)经由单一单模光纤耦接至所述辐射检测器。