[发明专利]液浸构件及曝光装置

权利要求书

1.一种液浸构件，用于通过在光学构件的射出面与基板之间的液体以曝光用光使该基板曝光的液浸曝光装置，在能于该光学构件下方移动的物体上形成液浸空间，具备：

第1构件，配置在该光学构件周围的至少一部分，具有第1下面；

第2构件，于该第1构件的下方，配置在该曝光用光的光路周围的至少一部分，能相对该第1构件移动；以及

第1供应部及第2供应部，其能供应用于形成该液浸空间的液体，

其中该第2构件具备：

与该第1构件的该第1下面通过间隙相对的第2上面；

能与该物体相对的第2下面；以及

配置在该第2下面周围至少一部分的流体回收部；

其中该第2构件能在与该光学构件的光轴实质垂直的方向移动，该第2供应部能供应液体至该第1下面与该第2上面之间的第1空间。

2.如权利要求1的液浸构件，其进一步具备相对该光路于该第1构件的外侧连接于该第2构件的支承构件；

其中通过由驱动装置使该支承构件移动，该第2构件即能移动。

3.如权利要求1的液浸构件，其中，该液体从该第2上面侧的空间及该第2下面侧的空间中的一方往另一方的移动受到抑制。

4.如权利要求1的液浸构件，其中，该流体回收部相对该光路配置在该第1构件外侧。

5.如权利要求1的液浸构件，其中，该第1构件进一步具有相对该光路朝向外侧的外侧面；

该第2构件进一步具有通过间隙与该第1构件的该外侧面相对的内侧面、与从该流体回收部回收的流体流经的回收流路；以及

于该内侧面的外侧配置该第2构件的该回收流路。

6.如权利要求1的液浸构件，其中，该物体能与该流体回收部相对。

7.如权利要求1的液浸构件，其中，该第2构件的该流体回收部能通过多孔构件的孔回收流体。

8.如权利要求1的液浸构件，其中，该第1供应部配置于该第1构件。

9.如权利要求1的液浸构件，其中，来自该第1供应部的该液体的至少一部分被供应至该第1下面与该第2上面之间的该第1空间；以及

该液浸构件进一步具备能回收来自该第1空间的该液体的液体回收部。

10.如权利要求9的液浸构件，其进一步具备配置在该第1下面、能诱导来自该第1供应部的该液体的至少一部分的诱导部。

11.如权利要求10的液浸构件，其中，该诱导部使该液体的至少一部分流向与该第2构件的移动方向平行的方向。

12.如权利要求1的液浸构件，其进一步具备能回收来自该第1空间的该液体的液体回收部。

13.如权利要求12的液浸构件，其中，该液体回收部配置于该第1构件。

14.如权利要求12的液浸构件，其中，该液体回收部配置在该光路的周围。

15.如权利要求1的液浸构件，其中，该第2上面对该液体具有拨液性。

16.如权利要求1的液浸构件，其中，该第1构件具有与该光学构件的侧面相对的相对面；以及具有设置成该侧面与该相对面之间的液体的至少一部分流于该第2上面的流路。

17.如权利要求16的液浸构件，其进一步具备能回收流于该第2上面的该液体的液体回收部。

18.如权利要求17的液浸构件，其中，该液体回收部能回收来自该第1空间的该液体。

19.如权利要求1的液浸构件，其中，该第2下面的至少一部分于相对该光路的放射方向朝外侧向上方倾斜。

20.如权利要求1的液浸构件，其具备相对该光路配置在该第2构件的外侧、能回收流体的第3构件。

21.如权利要求20的液浸构件，其中，该第3构件能通过多孔构件回收流体。

22.如权利要求20的液浸构件，其中，该第3构件能与该第2构件一起移动。

23.如权利要求1的液浸构件，其中，该第1构件实质上不移动。

24.如权利要求1的液浸构件，其中，该第2构件能与该曝光用光从该射出面射出的期间的至少一部分并行移动。