[发明专利]用于从包括氮化钛的表面剥离光致抗蚀剂的组合物和方法

权利要求书

1.一种用于剥离抗蚀剂的组合物，所述组合物包含硫酸和至少一种含磷的酸，条件是所述含磷的酸不能包括磷酸本身,

其中所述组合物还包含至少一种氧化剂，条件是所述至少一种氧化剂不包括过氧化氢本身。

2.权利要求1的组合物，其中所述硫酸是浓硫酸。

3.权利要求1或2的组合物，其中基于所述组合物的总重量，硫酸的量在约50重量％至约99重量％的范围内。

4.权利要求1或2的组合物，其中至少一种含磷的酸包含选自以下的物质：膦酸、磷酸衍生物、1,5,9-三氮杂环十二烷-N,N',N-三(亚甲基膦酸)(DOTRP)、1,4,7,10-四氮杂环十二烷-N,N',N,N'-四(亚甲基膦酸)(DOTP)、次氮基三(亚甲基)三膦酸、二亚乙基三胺五(亚甲基膦酸)(DETAP)、氨基三(亚甲基膦酸)、1-羟基亚乙基-1,1-二膦酸(HEDP)、双(六亚甲基)三胺膦酸、双(六亚甲基三胺五(亚甲基膦酸))、1,4,7-三氮杂环壬烷-N,N',N-三(亚甲基膦酸(NOTP)、N-(膦酰基甲基)-亚氨基二乙酸、2-氨基-2-丙基膦酸、亚氨基双(亚甲基膦酸)、吡哆醛-5-(二氢磷酸酯)、氨基(苯基)亚甲基-二磷酸、亚乙基双(亚氨基-(2-羟基苯基)亚甲基(甲基)-膦酸))、2-膦酰基丁烷-1,2,4-三甲酸、亚乙基二胺四(亚甲基膦酸)(EDTMPA)、其盐及其组合。

5.权利要求1或2的组合物，其包含选自以下的膦酸衍生物：膦酸、1,5,9-三氮杂环十二烷-N,N',N-三(亚甲基膦酸)(DOTRP)、1,4,7,10-四氮杂环十二烷-N,N',N,N'-四(亚甲基膦酸)(DOTP)、次氮基三(亚甲基)三膦酸、二亚乙基三胺五(亚甲基膦酸)(DETAP)、氨基三(亚甲基膦酸)、1-羟基亚乙基-1,1-二膦酸(HEDP)、双(六亚甲基)三胺膦酸、双(六亚甲基三胺五(亚甲基膦酸))、1,4,7-三氮杂环壬烷-N,N',N-三(亚甲基膦酸(NOTP)、N-(膦酰基甲基)-亚氨基二乙酸、2-氨基-2-丙基膦酸、亚氨基双(亚甲基膦酸)、吡哆醛-5-(二氢磷酸酯)、氨基(苯基)亚甲基-二磷酸、亚乙基双(亚氨基-(2-羟基苯基)亚甲基(甲基)-膦酸))、2-膦酰基丁烷-1,2,4-三甲酸、亚乙基二胺四(亚甲基膦酸)(EDTMPA)、其盐及其组合。

6.权利要求1或2的组合物，其中基于所述组合物的总重量，含磷的酸的量在约1重量％至约50重量％的范围内。

7.权利要求1的组合物，其中所述至少一种氧化剂包含选自以下的物质：高碘酸、高碘酸盐、过硫酸铵、高氯酸、高氯酸盐、过硫酸氢钾(2KHSO₅·KHSO₄·K₂SO₄)、臭氧、铈(IV)盐、铈(IV)配位复合物及其组合。

8.权利要求7的组合物，其中所述铈(IV)盐包含选自以下的物质：硝酸铈铵(CAN)、硝酸铈、硫酸铈铵、硫酸铈、硫酸氢铈、高氯酸铈、甲磺酸铈、三氟甲磺酸铈、氯化铈、氢氧化铈、羧酸铈、铈β-二酮、三氟乙酸铈、乙酸铈及其组合。

9.权利要求1的组合物，其中所述至少一种氧化剂包含硝酸铈铵。

10.权利要求1或2的组合物，所述组合物基本上不含外加水、研磨剂材料、润湿剂、钨、氟化物离子、铜离子或含铜残余物和硫酸钾中的至少一种。

11.权利要求1或2的组合物，所述组合物具有小于约2的pH。

12.一种从包含高剂量离子注入抗蚀剂的微电子器件的表面去除所述抗蚀剂的方法，所述方法包括在实现所述抗蚀剂的至少部分去除所必需的时间和温度下使所述微电子器件与权利要求1至11中任一项所述的组合物接触。