[发明专利]半导体处理系统中的高采样率传感器缓冲

说明书

相关专利申请的交叉引用

本申请主张于2012年6月12日提交且标题为“High Sampling Rate Sensor Buffering in Semiconductor Processing Systems”的美国临时专利申请案第61/658,622号的权益，该美国临时专利申请案出于所有目的以全文引用的方式并入本文。

背景技术

半导体处理系统是执行各种复杂处理的复杂系统。因为系统及/或处理的复杂性，可因硬件或软件失灵相关的任何数目的原因而发生故障。

发明内容

在此专利中使用的术语“发明”、“该发明”、“此发明”及“本发明”意欲广泛指代此专利及下文专利权利要求的所有主题。应理解，含有这些术语的陈述不应限制本文所描述的主题或限制下文专利权利要求的含义或范围。由下文的权利要求界定此专利所覆盖的本发明的实施方式，而非由此发明内容界定。此发明内容为本发明的各种态样的高级概述，且引入在下文的【具体实施方式】部分中进一步描述的概念中的一些。此发明内容既不意欲识别所要求保护的主题的关键或实质特征，亦不意欲独立使用以确定所要求保护的主题的范围。应以参考此专利的整个说明书、所有附图及各个权利要求的方式理解该主题。

本发明的实施方式是针对半导体处理系统中用高采样率(sample rate)缓冲从一或更多个传感器接收的原始数据的系统及/或方法。此类采样可提供关于半导体处理系统中的故障原因的较佳数据。本发明的一些实施方式包括半导体处理系统，所述半导体处理系统具有测量各种处理条件的多个传感器、耦接至所述多个传感器的至少一个分组的缓冲器及与缓冲器耦接的长期储存装置。缓冲器可用于以高采样率从该分组的传感器收集原始数据。

论及这些说明性实施方式，并非意在限制或界定本揭示案，而是提供实例以帮助本揭示案的理解。在【具体实施方式】中将论述额外实施方式及提供进一步描述。可通过检验此说明书或通过实践所呈现的一或更多个实施方式来进一步理解各种实施方式中的一或更多者提供的优点。

附图的简要说明

当参阅附图阅读以下【具体实施方式】时，将更好地理解本揭示案的这些及其它特征、态样及优点。下文将参阅以下附图详细描述本发明的说明性实施方式：

图1是根据本发明的一些实施方式的传感器系统的方块图。

图2是根据本发明的一些实施方式的用于缓冲传感器数据的处理的流程图。

图3图示根据本发明的一些实施方式的示例性电弧检测系统。

图4图示根据本发明的一些实施方式的另一示例性电弧检测系统。

图5图示可用于实施本发明的实施方式的计算系统的简化方块图。

具体实施方式

本文利用特定性描述本发明的实施方式的主题以满足规定的要求，但是此描述未必意欲限制权利要求的范围。所要求保护的主题可以其它方式实施，可包括不同元件或步骤，且可连同其它现有或未来技术一起使用。不应将此描述解译为各种步骤或元件之间隐含任何特定次序或配置，除非明确描述个别步骤的次序或元件的配置的情况下。

半导体制造系统可因硬件或软件失灵而发生故障。许多故障可能很难清除，因为发生故障时可能丢失一些诸如给定传感器的状态之类的信息。依靠该故障，传感器信息可能在诊断故障原因方面是有用的。本发明的实施方式可用于以高采样率缓冲传感器数据以确保传感器信息可用来诊断故障。

本发明的实施方式是针对半导体处理系统中用高采样率缓冲来自各个传感器的数据的系统及/或方法。此类采样可提供关于诊断系统中导致处理故障的条件的处理的较佳数据。