[发明专利]带电粒子多子束光刻系统和冷却配置制造方法

权利要求书

1.一种使用多个带电粒子子束(7)曝光目标(13)的带电粒子多子束光刻系统(1)，该系统包括：

子束发生器(2)，用于生成所述带电粒子子束；

子束调制器(8)，用于使所述子束图案化以形成经调制的子束；

子束投影器(12)，用于将所述经调制的子束投影至所述目标的表面上；

其中，所述子束发生器、子束调制器和/或子束投影器包括一个或多个板，所述板设置有多个孔径，所述孔径用于让所述子束通过所述板，所述孔径被布置成组以在所述一个或多个板的所述表面上形成多个波束区域(91)，所述波束区域区别于多个非波束区域(92)并与所述多个非波束区域(92)分开，所述非波束区域不包含用于使所述子束通过的孔径；并且

其中，在所述光刻系统中具有孔径的所述板中的至少一个设置有冷却配置(93)，所述冷却配置被部署在其表面上的一个或多个非波束区域中，所述冷却配置包括设置有用于接收冷却液体的入口(31)的板形主体，被配置成使冷却液体在其中流动的多个冷却通路(94)，和用于移除所述冷却液体的出口(35)，其中，所述板形主体在所述冷却通路之间设置有多个槽(34)，并且其中，所述槽基本上与所述孔径板表面上的所述波束区域对准。

2.如权利要求1所述的系统，其中，所述入口和所述多个冷却通路经由单个分配通路彼此连接，所述单个分配通路包括用于分散冷却液体的分散部段(41)，以及用于在所述多个冷却通路(94)上分割所述冷却液体的分割部段(42)，其中，所述分散部段在面向所述入口(31)的一侧具有第一横截面积，并且在面向所述多个冷却通路具有第二横截面积；

其中，所述第一横截面积和所述第二横截面积相等；并且

其中，所述第一横截面积的高度大于所述第二横截面积的高度，所述高度的方向与所述冷却通路蔓延通过的所述板形主体的平面状部垂直。

3.如权利要求1或2所述的系统，其中，所述板形主体包括平坦表面(37)，所述平坦表面跨越用于连接设置有孔径的所述板的接触平面(P)，其中，所述冷却通路(94)被布置成基本相互平行以限定流动方向(F)，所述流动方向(F)基本上平行于所述接触平面(P)。

4.如前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述冷却布置的所述板形主体通过粘合层(97)被连接至设置有孔径的所述至少一个板。

5.如权利要求4所述的系统，其中，所述粘合层(97)的总体传热系数大于100kW/m²·K，优选地大于150kW/m²·K。

6.如前述权利要求中任一项所述的系统，进一步包括冷却系统(25)，其被布置成以足够高的流动速度向所述冷却布置的所述入口提供冷却液体，以产生通过所述多个冷却通路的冷却液体湍流。

7.如前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述子束调节器包括子束抑制阵列(9)和子束停止阵列(10)，并且其中，所述冷却布置的所述板形主体被部署在所述子束抑制阵列的表面上。

8.如权利要求1至5中任一项所述的系统，进一步包括用于以基本上较低的流动速度向所述冷却布置的所述入口提供冷却液体的冷却系统(25)，以产生通过所述多个冷却通路的冷却液体的层流。

9.如权利要求8所述的系统，其中，所述子束调制器包括子束抑制阵列9和子束停止阵列(10)，并且其中，所述冷却布置的所述板形主体被部署在所述子束停止阵列的表面上。

10.如权利要求8所述的系统，其中，所述冷却布置的所述板形主体被部署在所述子束投影器的孔径板的表面上。

11.如前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述冷却液体包括水。

12.如前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述冷却布置的所述板形主体由钛制成。