[发明专利]非磁性物质分散型Fe‑Pt基溅射靶

权利要求书

1.一种烧结体溅射靶，该烧结体溅射靶包含：组成包含以原子数比计35～55％的Pt、余量为Fe的合金，和分散在该合金中的非磁性物质，其特征在于，至少含有SiO₂作为非磁性物质，SiO₂为非晶质，并且从靶中含有的氧量扣除非磁性物质的构成成分的氧而得到的残留氧量为0.05重量％以下，靶中的非磁性物质的体积比率为10～55％。

2.如权利要求1所述的溅射靶，其特征在于，以原子数比计含有0.5～15％的选自Ag、Au、B、Co、Cr、Cu、Ga、Ge、Mn、Mo、Nb、Ni、Pd、Re、Rh、Ru、Sn、Ta、W、V、Zn的一种以上元素作为合金中的添加元素。

3.如权利要求1～2所述的溅射靶，其特征在于，含有C(碳)、或者选自B、Ca、Nb、Si、Ta、Ti、W、Zr的元素的碳化物、或者选自Al、B、Ca、Nb、Si、Ta、Ti、Zr的元素的氮化物、或者选自Al、B、Ba、Be、Ca、Ce、Cr、Dy、Er、Eu、Ga、Gd、Ho、Li、Mg、Mn、Nb、Nd、Pr、Sc、Sm、Sr、Ta、Tb、Ti、V、Y、Zn、Zr的元素的氧化物的一种以上作为SiO₂以外的非磁性物质。