[发明专利]多单元旋转端末效应器机制有效

专利信息
申请号: 201380034660.5 申请日: 2013-05-01
公开(公告)号: CN104396002A 公开(公告)日: 2015-03-04
发明(设计)人: 杰森·夏勒;罗伯特·B·宝佩特 申请(专利权)人: 瓦里安半导体设备公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马雯雯;臧建明
地址: 美国麻萨诸塞*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 单元 旋转 效应器 机制
【权利要求书】:

1.一种端末效应器,应用于工件操作系统,其特征在于所述端末效应器包括:

多个夹具,每一所述夹具与对应的流体导管相互连通,所述流体导管适于作为抽吸系统的接口;

可旋转支架,支撑所述夹具;

旋转管套节,包括第一固定部以及旋转部,所述第一固定部包括多个固定连接器,所述旋转部具有相对应数量的旋转连接器,其中每一所述固定连接器和对应的所述旋转连接器经由对应的导管相连通于所述旋转管套节中,其中每一所述旋转连接器附接至对应的流体导管且其中所述旋转部为固定于所述可旋转支架;

滑环,包括固定外部部分及旋转内部部分,第一导线连接至所述固定外部部分,第二导线则由所述旋转内部部分伸出,其中所述第一导线和所述第二导线经由所述滑环而相互连通;

旋转致动器,配置的位置使得所述滑环位于所述旋转致动器及所述旋转管套节之间;以及

轴,耦合所述旋转致动器与所述旋转部,其中所述滑环以及所述旋转管套节各包括内部孔,使所述轴通过所述内部孔。

2.根据权利要求1所述的端末效应器,其特征在于所述轴包括内部孔,且所述第二导线穿越所述内部孔。

3.根据权利要求1所述的端末效应器,其特征在于所述夹具在所述夹具支架上排列成线性阵列。

4.根据权利要求3所述的端末效应器,其特征在于还包括四个夹具。

5.根据权利要求1所述的端末效应器,其特征在于所述轴与所述旋转管套节为一体,且所述轴由所述旋转管套节的所述旋转部延伸。

6.根据权利要求5所述的端末效应器,其特征在于还包括旋转耦合器,耦合所述旋转致动器与所述轴,其中所述滑环配置于所述轴上,且位于所述旋转管套节以及所述旋转耦合器之间。

7.一种工件操作系统,包括支架模块,其用以将多个工件从第一位置移动至第二位置,其特征在于所述支架模块包括:

端末效应器,用以拿起所述工件;

第一致动器,用以在X方向移动所述端末效应器;

第二致动器,用以在Y方向移动所述端末效应器;

第三致动器,用以在Z方向移动所述端末效应器;

其中,所述端末效应器包括:

多个夹具,每一所述夹具与对应的流体导管相互连通,所述流体导管适于作为抽吸系统的接口;

可旋转支架,支撑所述夹具;

旋转管套节,包括第一固定部与旋转部,所述第一固定部包括多个固定连接器,所述旋转部具有相对应数量的旋转连接器,其中每一所述固定连接器和对应的所述旋转连接器经由对应的导管相连通于所述旋转管套节中,其中每一所述旋转连接器附接至对应的流体导管,且其中所述旋转部为固定于所述可旋转支架;

滑环,包括固定外部部分及旋转内部部分,第一导线连接至固定外部部分,第二导线由旋转内部部分伸出,其中所述第一导线和所述第二导线经由所述滑环而相互连通;

旋转致动器,配置的位置使得所述滑环位于所述旋转致动器及所述旋转管套节之间;以及

轴,耦合所述旋转致动器和所述旋转部,其中所述滑环以及所述旋转管套节各包括内部孔,使所述轴通过所述内部孔。

8.根据权利要求7所述的工件操作系统,其特征在于所述轴与所述旋转管套节为一体,且所述轴由所述旋转管套节的所述旋转部延伸。

9.根据权利要求8所述的工件操作系统,其特征在于还包括旋转耦合器,耦合所述旋转致动器与所述轴,其中所述滑环配置于所述轴,且位于所述旋转管套节以及所述旋转耦合器之间。

10.根据权利要求7所述的工件操作系统,其特征在于还包括位于所述可旋转支架的电性元件,所述电性元件和所述第二导线相连通。

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