[发明专利]显微镜摄像装置和显微镜摄像方法

权利要求书

1.一种显微镜摄像装置，其特征在于，包括：

试样台，其具有载置试样的载置面；

摄像部，其具有用于对在所述载置面上设定的摄像区域的一部分进行摄像的摄像元件；

成像光学部，其配置在所述试样台与所述摄像部之间，具有将来自所述摄像区域的一部分的光导向所述摄像部而进行成像的物镜；和

焦点调整用驱动机构，其使所述物镜在沿着所述物镜的光轴的方向上移动，

所述试样台以使得所述载置面与所述物镜的光轴正交的方式配置，

所述试样台和所述物镜的至少一者被构成为，在将所述载置面相对于所述光轴保持为正交的状态下能够向相对于所述光轴倾斜地交叉的方向移动，

在伴随着所述试样台和所述物镜的至少一者的向相对于所述光轴倾斜地交叉的方向的移动，所述摄像区域和所述物镜之间的沿着所述光轴的距离变化时，所述焦点调整用驱动机构以对应于所述摄像区域和所述物镜之间的沿着所述光轴的距离的变化的方式使所述物镜向沿着所述光轴的一个方向移动。

2.如权利要求1所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

还包括使所述试样台移动的移动机构，

所述移动机构使所述试样台移动的方向相对于所述光轴倾斜地交叉。

3.如权利要求2所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

所述移动机构具有与所述试样台抵接的倾斜面，

所述倾斜面在相对于所述光轴倾斜地交叉的方向上延伸。

4.如权利要求3所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

所述试样台的所述载置面和与所述移动机构的所述倾斜面抵接的所述试样台的抵接面所形成的角度，等于与所述光轴正交的假想面与所述移动机构的所述倾斜面所形成的角度。

5.如权利要求2～4中的任一项所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

还包括保持所述移动机构的基底部，

所述基底部以使所述移动机构使所述试样台移动的方向与相对于所述光轴倾斜地交叉的方向一致的方式保持所述移动机构。

6.如权利要求1～4中的任一项所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

所述摄像元件配置在所述光轴上，取得所述摄像区域的一部分的二维图像。

7.如权利要求5所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

所述摄像元件配置在所述光轴上，取得所述摄像区域的一部分的二维图像。

8.如权利要求1～4中的任一项所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

所述摄像元件取得所述物镜的焦点信息。

9.如权利要求5所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

所述摄像元件取得所述物镜的焦点信息。

10.如权利要求6所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

所述摄像元件取得所述物镜的焦点信息。

11.如权利要求7所述的显微镜摄像装置，其特征在于：

所述摄像元件取得所述物镜的焦点信息。

12.一种显微镜摄像方法，其特征在于，包括：

移动步骤，使具有载置试样的载置面的试样台和用于使来自在所述载置面设定的摄像区域的一部分的光成像的物镜中的至少一者移动；和

摄像步骤，将利用所述物镜成像的所述光聚光于摄像部，并且基于被聚光于所述摄像部的所述光对所述摄像区域的一部分进行摄像，

所述移动步骤包括：

在使所述载置面相对于所述物镜的光轴正交的状态下，使所述试样台和所述物镜的至少一者向相对于所述光轴倾斜地交叉的方向移动的步骤；和

以对应于伴随着向相对于所述光轴倾斜地交叉的方向的移动的所述摄像区域和所述物镜之间的沿着所述光轴的距离的变化的方式使所述物镜向沿着所述光轴的一个方向移动的步骤。