[发明专利]用于感测测量气体室中的测量气体的至少一个特性的传感器元件,其包含被研磨的、被浸渍的粉浆层有效
申请号: | 201380033904.8 | 申请日: | 2013-05-13 |
公开(公告)号: | CN104412102B | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | J·施奈德;H·布劳恩;P·库舍尔;S·内斯 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01N27/407 | 分类号: | G01N27/407 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粉浆层 测量 功能元件 浸渍 传感器元件 研磨 功能层 气体室 感测 固体电解质 热处理 浸入 烧结 传感器 粉浆 施加 引入 制造 | ||
1.用于制造传感器元件(10)的方法,所述传感器元件用于感测测量气体室(12)中的测量气体的至少一个特性,所述方法包括以下步骤:
-将至少一个功能元件(14)至少一次地这样引入到至少一个粉浆中,使得将粉浆层(20)施加到所述功能元件(14)上,其中,所述功能元件(14)包括至少一个固体电解质(16)和至少一个功能层(18);
-在所述功能元件(14)上烧结所述粉浆层(20);
-至少在所述至少一个功能层(18)的区域中研磨所述粉浆层(20);
-浸渍所述粉浆层(20);和
-热处理被浸渍的所述粉浆层(20),
其中,所述粉浆层(20)用作热震保护层。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述功能元件(14)被多次引入到所述粉浆中。
3.根据权利要求2所述的方法,所述方法还包括在将所述功能元件(14)多次引入到粉浆中之间的至少一个干燥工艺。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中,所述浸渍借助于含贵金属的和/或含除气剂的溶液进行。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中,在引入到所述粉浆中之前,将空腔形成物层施加到所述功能元件(14)上。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中,所述至少一个粉浆层(20)在烧结和研磨之后具有50微米至600微米的厚度。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中,所述功能元件(14)在未烧结状态下被引入到所述粉浆中,并且所述功能元件(14)和所述粉浆层(20)被共同地烧结。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中,所述功能元件(14)在烧结的状态下被引入到所述粉浆中,并且烧结所述功能元件(14)上的粉浆层(20)。
9.根据权利要求1所述的方法,其中,所述传感器元件用于证实所述测量气体中的气体成分或者所述测量气体的温度。
10.根据权利要求1所述的方法,其中,将所述功能元件(14)浸入到所述粉浆中。
11.根据权利要求6所述的方法,其中,所述至少一个粉浆层(20)在烧结和研磨之后具有150微米至350微米的厚度。
12.根据权利要求6所述的方法,其中,所述至少一个粉浆层(20)在烧结和研磨之后具有200微米至300微米的厚度。
13.传感器元件(10),其用于感测测量气体室(12)中的测量气体的至少一个特性,所述传感器元件能够按照根据权利要求1至12中任一项所述的方法制造,所述传感器元件包括:
功能元件(14),其包括至少一个固体电解质(16)和至少一个功能层(18);和
处于所述功能元件(14)上的至少一个被浸渍的粉浆层(20),其中,所述粉浆层(20)至少在所述至少一个功能层(18)的区域中被研磨。
14.根据权利要求13所述的传感器元件(10),其中,所述至少一个粉浆层(20)具有50微米至600微米的厚度。
15.根据前权利要求13或14所述的传感器元件(10),其中,所述粉浆层(20)具有10%至60%的开孔的多孔性。
16.根据权利要求15所述的传感器元件(10),其中,所述粉浆层(20)具有多孔性梯度,其中,所述多孔性从所述粉浆层(20)的朝向所述功能元件(14)的一侧(22)向着所述粉浆层(20)的背离所述功能元件(14)的一侧(24)的方向升高。
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