[发明专利]均质线形强度轮廓的激光器模块

权利要求书

1.一种激光器模块，包括沿着第一轴线（10）并排布置在公共载体上的若干个子模块（1），所述子模块（1）中的每一个包括由在所述子模块（1）的表面上的一个或若干个半导体激光器（5）阵列形成的激光区域（8），并且由所述半导体激光器（5）发射的激光辐射在面对所述子模块（1）的所述表面的工作平面中形成强度分布，

其中，所述子模块（1）和激光器区域（8）设计并布置成使得相邻子模块（1）的激光器区域（8）的投影在垂直于所述第一轴线的方向上部分地重叠，其中，所述激光器区域（8）由所述半导体激光器（5）阵列的布置形成，所述激光器区域（8）包括两个平行侧边缘（3），相邻激光器区域（8）的所述平行侧边缘（3）平行于彼此并且对于所述第一轴线（10）以角度β倾斜，其中0°<β<90°，其中，所述激光器区域（8）布置成借助于所述激光器区域（8）的倾斜布置在所述工作平面中在平行于所述第一轴线的方向上产生均匀强度分布。

2.根据权利要求1所述的激光器模块，

其中，所述半导体激光器（5）阵列的布置形成矩形区域。

3.根据权利要求2所述的激光器模块，

其中，所述角度β根据下列条件选定：H × cos β = n × (B + G)/sin β，其中，n是任意整数，B是矩形激光器区域（8）的宽度，H是矩形激光器区域（8）的长度，并且G是相邻子模块（1）的激光器区域（8）之间的间隙的宽度。

4.根据权利要求1所述的激光器模块，

其中，所述布置的所述平行侧边缘（3）对于所述第一轴线（10）以β=45°的角度倾斜，所述半导体激光器（5）具有矩形或方形发射区域，矩形或方形发射区域的侧边缘取向与所述布置的所述平行侧边缘（3）成45°的角度。

5.根据权利要求1所述的激光器模块，

其中，所述布置的所述平行侧边缘（3）对于所述第一轴线（10）以β=30°或β=60°的角度倾斜，每个半导体激光器（5）阵列包括在六边形布置中的所述半导体激光器（5），所述六边形布置的主轴线（6）取向为平行于所述第一轴线（10）。

6.根据权利要求1所述的激光器模块，

其中，所述子模块（1）包括在所述半导体激光器（5）前面的单独的微透镜和/或单个柱面透镜，所述微透镜和/或柱面透镜设计并布置成对由所述半导体激光器（5）发射的激光辐射进行准直或聚焦，在所述工作平面中产生激光线，所述激光线平行于所述第一轴线（10）延伸。

7.根据权利要求1所述的激光器模块，

其中，所述半导体激光器（5）是VCSEL或VECSEL。

8.根据权利要求1所述的激光器模块，

其中，所述子模块（1）和激光器区域（8）设计并布置成使得至少在覆盖若干个所述子模块（1）的所述激光器模块的中部中，由所述半导体激光器（5）发射的激光辐射的激光功率，当在垂直于所述第一轴线（10）的方向上积分时，对于所述第一轴线（10）的各部分，符合±10%以内的精确度，所述第一轴线（10）的所述部分大于相邻半导体激光器（5）之间的距离且小于相邻激光器区域（8）之间的间隙。

9.根据权利要求1所述的激光器模块，

所述的激光器模块安装在设备中，所述设备使对象表面在所述工作平面中垂直于所述第一轴线（10）移动，或使所述激光器模块垂直于所述第一轴线（10）移动。