[发明专利]压电器件、压电致动器、硬盘驱动器、喷墨打印机装置和压电传感器有效
| 申请号： | 201380033316.4 | 申请日： | 2013-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN104395087B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 仓知克行;会田康弘;佐久间仁志;前岛和彦 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;G11B5/48;H01L41/053;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/113 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 器件 致动器 硬盘驱动器 喷墨打印机 装置 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电器件，其中，
包括：
第一电极膜；
第一非金属导电性中间膜，其设置在所述第一电极膜上；
压电膜，其设置在所述第一非金属导电性中间膜上；
第二非金属导电性中间膜，其设置在所述压电膜上；以及
第二电极膜，其设置在在所述第二非金属导电性中间膜上，
所述第一非金属导电性中间膜的线性膨胀系数大于所述第一电极膜的线性膨胀系数和所述压电膜的线性膨胀系数，并且
所述第二非金属导电性中间膜的线性膨胀系数大于所述第二电极膜的线性膨胀系数和所述压电膜的线性膨胀系数。
2.根据权利要求1所述的压电器件，其中，
所述第一非金属导电性中间膜和第二非金属导电性中间膜与所述压电膜直接接触。
3.根据权利要求1所述的压电器件，其中，
在所述第二电极膜的顶面上没有基板，并且在所述第一电极膜的底面上也没有基板。
4.根据权利要求1所述的压电器件，其中，
所述第一非金属导电性中间膜和第二非金属导电性中间膜分别是无机氧化膜。
5.根据权利要求4所述的压电器件，其中，
两个所述无机氧化膜具有相同的组成。
6.一种压电致动器，其中，
包括根据权利要求1所述的压电器件。
7.一种硬盘驱动器，其中，
包括根据权利要求1所述的压电器件。
8.一种喷墨装置，其中，
包括根据权利要求1所述的压电器件。
9.一种压电传感器，其中，
包括根据权利要求1所述的压电器件。
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