[发明专利]热式流量计

说明书

技术领域

本发明涉及热式流量计。

背景技术

测量气体流量的热式流量计具有用于测量流量的流量检测部，通过在上述流量检测部与作为测量对象的上述气体之间进行热传递，来测量上述气体的流量。热式流量计所测量的流量作为各种装置的重要控制参数被广泛使用。热式流量计的特征是，与其它方式的流量计相比，能够以相对高的精度测量气体的流量例如质量流量。

不过，人们期望进一步提高气体流量的测量精度。例如，对于搭载了内燃机的车辆而言，节省燃料的需求、尾气净化的需求非常高。为了满足这样的需求，需要以高精度测量作为内燃机的主要参数的空气进气量。

在现有的热式流量传感器中，覆盖传感器芯片的密封树脂在与传感器芯片的发热体形成面垂直的侧面，至少相对于流体的流动与流量检测部的上游侧部位相接触地进行覆盖，传感器芯片的发热体形成面与密封树脂的侧面覆盖部在与发热体形成面垂直的方向上为相同面(例如，参照专利文献1)

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-175780号公报

发明内容

发明所要解决的课题

为了利用热式流量计以高精度测量气体的流量，要求设置于用来取入在主通路中流动的气体的热式流量计的副通路，以高精度定位并固定热式流量计的流量检测部。专利文献1记载的热式流量计，形成通过流量检测部的空气流，检测由传感器芯片的空气流引起的温度变化从而检测流量，但是存在如下课题：难以使通过流量检测部时的空气均匀地分流至传感器芯片面及其相反面，由于搭载传感器芯片的封装体等部件的流入侧的端面形状的微小的差而使得在同一产品产生传感器芯片面的流量多的情况和少的情况。由于这种情况，在现有技术中难以进一步提高热式流量计的测量精度。

本发明就是鉴于这样的问题而完成的，其目的是提供测量精度高的热式流量计热式流量计。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明的热式流量计，包括用于使从主通路取入的被测量气体流动的副通路；在与所述副通路中流动的被测量气体之间进行热传递来测量被测量气体的流量的流量检测部；和具有所述流量测量部的电路封装体，该热式流量计的特征在于：在所述电路封装体中，测量用流路面和其背面的测量用流路面背面位于所述副通路内，所述副通路构成为，被测量气体分开流入到所述电路封装体的测量用流路面侧的流路和其背面的测量用流路面背面侧的流路，所述电路封装体的用于分开被测量气体的流入侧的端面的形状，在所述测量用流路面侧和测量用流路面背面侧不同。而且，优选在所述电路封装体的用于分开被测量气体的流入侧的端面形成有分开被测量气体的基准线，该基准线的测量用流路面侧的端面与测量用流路面背面侧的端面形成为非对称的倾斜面和/或圆弧截面、垂直面。

发明的效果

根据本发明，能够获得高测量精度的热式流量计。

附图说明

图1是表示在内燃机控制系统中使用本发明的热式流量计的一实施例的系统图。

图2是表示热式流量计的外观的图，图2(A)是左视图，图2(B)是正视图。

图3是表示热式流量计的外观的图，图3(A)是右视图，图3(B)是后视图。

图4是表示热式流量计的外观的图，图4(A)是俯视图，图4(B)是仰视图。

图5是表示热式流量计的壳体的图，图5(A)是壳体的左视图，图5(B)是壳体的正视图。

图6是表示热式流量计的壳体的图，图6(A)是壳体的右视图，图6(B)是壳体的后视图。

图7是表示配置于副通路中的流路面的状态的局部放大图。

图8是用于对隔膜和将隔膜内部的空隙与开口连接的连通孔进行说明的说明图。

图9是表示热式流量计的制造工序的概要的图，是表示电路封装体的生产工序的图。

图10是表示热式流量计的制造工序的概要的图，是表示热式流量计的生产工序的图。

图11是表示热式流量计的流量检测电路的电路图。

图12是对流量检测电路的流量检测部进行说明的说明图。

图13是表示本发明的热式流量计的电路封装体的流量检测部的流入侧的端面与被测量气体的关系的示意图，图13(A)是第一实施例的示意图，图13(B)是第二实施例的示意图，图13(C)是第三实施例的示意图。

图14(A)是第四实施例的示意图，图14(B)是表示第四实施例的动作的主要部位示意图。