[发明专利]单晶体切割方法无效
| 申请号: | 201380031273.6 | 申请日: | 2013-04-16 |
| 公开(公告)号: | CN104428115A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
| 发明(设计)人: | 奥克塔维安·菲利普;鲍里斯·埃佩尔鲍姆;马蒂亚斯·比克尔曼;阿尔布雷希特·温纳克;保罗·海曼;乌尔里希·赛茨 | 申请(专利权)人: | N-水晶有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
| 地址: | 德国菲*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单晶体 切割 方法 | ||
1.一种用于切割具有第一极轴(P1)的单晶体(1)的方法,所述方法包括以下步骤:
将所述单晶体(1)相对于切割工具(2)设置为使得所述第一极轴(P1)基本垂直于待切割平面(SE);
将具有第二极轴(P2)的至少一个另一单晶体(5)设置为使得所述第一极轴(P1)与所述第二极轴(P2)基本平行但彼此相反;以及
同时引导所述切割工具(2)沿所述待切割平面(SE)穿过所述单晶体(1)与所述至少一个另一单晶体(5)。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述至少一个另一单晶体(5)几何上形成为使得在引导所述切割工具(2)时,所述单晶体(1)中的第一切割长度对于所述至少一个另一单晶体(5)的第二切割长度偏移最多30%。
3.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中,垂直于所述第一极轴(P1)延伸的所述单晶体(1)的中间第一直径相对于垂直于所述第二极轴(P2)延伸的所述另一单晶体(5)的中间第二直径偏移最多30%。
4.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中,所述单晶体(1)和所述至少一个另一单晶体(5)在化学组成上相匹配。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,所述单晶体(1)和所述至少一个另一单晶体(5)具有从由氮化铝、氮化镓、砷化镓、磷化铟构成的组中选择的化学组成。
6.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中,所述单晶体(1)和所述至少一个另一单晶体(5)在它们的晶体点阵对称性上相匹配。
7.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中,线锯的至少一个线,优选为线网,作为所述切割工具(2)使用。
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