[发明专利]紧密式安瓿热管理系统

权利要求书

1.一种用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备，包括：

主体，所述主体具有开口，所述开口依一定尺寸设计以接纳储存容器，所述储存容器内设置有液体或固体前驱物，所述主体由导热材料制造，其中所述主体包含两个能分离的部分，并且其中所述开口至少部分地形成在所述两个能分离的部分的每一部分中；

一或多个热电装置，所述一或多个热电装置邻近所述开口而耦接至所述主体；以及

一或多个散热体，所述一或多个散热体耦接至所述一或多个热电装置。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述主体由铝、铜或黄铜制成。

3.如权利要求1所述的设备，进一步包含：

绝热材料，所述绝热材料设置在所述主体的一或多个外表面上。

4.如权利要求1所述的设备，进一步包含：

导热板，所述导热板在所述主体的第一侧或所述主体的第二侧的至少一侧上耦接至所述主体的每一部分，所述第一侧与所述第二侧相对。

5.如权利要求4所述的设备，进一步包含：

绝热材料，所述绝热材料设置在所述导热板的外表面上。

6.如权利要求1至3的任一项所述的设备，其中所述一或多个热电装置包含至少两个热电装置，其中至少一个热电装置邻近所述开口而设置在所述主体的相对侧上。

7.如权利要求6所述的设备，其中所述至少两个热电装置包含四个热电装置，所述四个热电装置邻近所述开口而设置在所述主体的相对侧上。

8.如权利要求1至3的任一项所述的设备，其中所述一或多个热电装置包含至少两个彼此堆叠在一起的热电装置，以提供遍及所述主体的热梯度。

9.如权利要求1至3的任一项所述的设备，其中所述储存容器包含一或多个通口，所述一或多个通口被配置成耦接至导管，以将所述液体或固体前驱物提供至所述储存容器。

10.如权利要求1至3的任一项所述的设备，进一步包含：

绝热材料，所述绝热材料设置在所述一或多个散热体与所述主体之间，使得每一散热体实质上仅热耦接至所述一或多个热电装置。

11.如权利要求1至3的任一项所述的设备，其中所述一或多个热电装置至少部分地安装至所述主体中。

12.如权利要求1至3的任一项所述的设备，其中所述主体进一步包含一或多个凹部，所述一或多个凹部形成于所述主体中且被配置以拉设供所述一或多个热电装置操作用的电缆。

13.如权利要求1至3的任一项所述的设备，进一步包含：

热电偶，所述热电偶耦接至所述主体，以测量所述储存容器的温度。

14.如权利要求1至3的任一项所述的设备，进一步包含：

一或多个风扇，所述一或多个风扇邻近所述一或多个散热体的背面设置，以提供空气流至所述一或多个散热体。