[发明专利]模具基材、模具基材的制造方法、模具的制造方法以及模具

权利要求书

1.一种模具基材，用于制造表面具有多孔氧化铝层的模具，其特征在于，

具有基材和形成于上述基材上的铝合金层，

上述铝合金层含铝、铝以外的金属元素以及氮。

2.根据权利要求1所述的模具基材，其中，构成上述铝合金层的晶粒的从上述铝合金层的法线方向观看时的平均粒径为100nm以下，上述铝合金层的最大表面粗糙度Rmax为60nm以下。

3.根据权利要求1或2所述的模具基材，其中，上述铝合金层所含的上述氮的含有率为0.5质量％以上、5.7质量％以下。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的模具基材，其中，上述金属元素的标准电极电位与铝的标准电极电位之差的绝对值为0.64V以下，上述铝合金层中的上述金属元素的含有率为1.0质量％以上、1.9质量％以下。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的模具基材，其中，上述金属元素是Ti或者Nd。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的模具基材，其中，

上述基材是金属基材，

上述模具基材进一步具有形成于上述金属基材与上述铝合金层之间的无机基底层。

7.根据权利要求6所述的模具基材，其中，在上述金属基材与上述无机基底层之间进一步具有有机绝缘层。

8.根据权利要求6或7所述的模具基材，其中，在上述无机基底层与上述铝合金层之间进一步具有缓冲层，上述缓冲层含铝、上述金属元素以及氧，或者上述缓冲层含铝、上述金属元素以及氮。

9.根据权利要求6至8中的任一项所述的模具基材，其中，上述金属基材为圆筒状，上述无机基底层形成于上述金属基材的圆筒的外周面。

10.一种模具基材的制造方法，其中，上述模具基材具有圆筒状基材和形成于上述基材上的含铝、铝以外的金属元素以及氮的铝合金层，上述模具基材的制造方法的特征在于包含如下工序：

工序(a)，将圆筒状基材以至少能以圆筒的轴为中心自转的方式配置在成膜室内；

工序(b)，在上述成膜室内在混合有氮气的气氛中，一边使上述基材自转，一边使用含铝和铝以外的金属元素的靶，利用DC磁控溅射法在上述基材的外周面上沉积上述铝合金层。

11.根据权利要求10所述的模具基材的制造方法，其中，在上述工序(a)中，使多个圆筒状基材分别以能以各圆筒的轴为中心自转、且上述多个基材各自的上述轴能在同一圆周上公转的方式配置，

在上述工序(b)中，上述多个基材分别以各圆筒的轴为中心自转并且公转。

12.根据权利要求11所述的模具基材的制造方法，其中，上述工序(a)包含在上述多个基材之间配置遮蔽件的工序。

13.一种模具的制造方法，其中，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向观看时的二维大小为10nm以上且不足500nm的多个凹部，上述模具的制造方法的特征在于，包含如下工序：

工序(a)，准备权利要求1至9中的任一项所述的模具基材；

工序(b)，对上述铝合金层部分地进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层；

工序(c)，在上述工序(b)后使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大；以及

工序(d)，在上述工序(c)后进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细的凹部生长。

14.一种模具，其特征在于，具有基材和形成于上述基材上的多孔氧化铝层，

上述多孔氧化铝层具有从表面的法线方向观看时的二维大小为10nm以上且不足500nm的多个凹部，且含氮，表面具有反转的蛾眼结构。

15.根据权利要求14所述的模具，其中，

在上述基材与上述多孔氧化铝层之间具有铝合金层，

上述铝合金层含铝、铝以外的金属元素以及氮。