[发明专利]表面形状测定方法及表面形状测定装置

权利要求书

1.一种表面形状测定方法，其特征在于，包括如下步骤：

位移数据取得步骤，通过向物体表面照射光线而进行测定的光学式位移计对所述物体表面进行扫描，取得所述物体表面相对于所述光学式位移计的位移数据；

槽概略范围检测步骤，搜索所述位移数据来检测包含加工在所述物体表面上的槽的物体表面的概略范围；

槽宽算出步骤，算出包含在所述概略范围内的所述槽的槽起点及槽终点；

最深位置检测步骤，算出从所述槽起点与所述槽终点的中央位置限定在所述槽宽的规定比例的宽度的范围内的所述位移数据的最小值；以及

槽深算出步骤，算出在所述最深位置检测步骤中算出的所述位移数据的最小值与所述物体表面的高度之差作为加工在所述物体表面上的槽的深度。

2.根据权利要求1所述的表面形状测定方法，其特征在于，

所述槽宽算出步骤包括：

表面高度算出步骤，根据所述概略范围的外侧附近的所述位移数据来算出所述物体表面的高度；

阈值设定步骤，以所述物体表面的高度为基准来设定加工在所述物体表面上的槽的端部检测用阈值；

端部检测步骤，从所述概略范围内的成为所述位移数据的最小值的位置起，向所述扫描方向的前侧及后侧进行搜索，检测所述位移数据的值最初超过所述端部检测用阈值的位置作为所述槽的槽起点及槽终点；以及

差算出步骤，算出所述槽的槽起点及槽终点之间的距离作为加工在所述物体表面上的槽的宽度。

3.根据权利要求1或2所述的表面形状测定方法，其特征在于，

所述槽概略范围检测步骤包括：

起点检测步骤，从所述位移数据的扫描方向起进行搜索，检测所述位移数据的局部的变化量开始低于规定值的位置作为所述概略范围的起点；

终点检测步骤，从所述概略范围的起点起继续搜索，检测所述位移数据的局部的变化量结束高于规定值的位置作为所述概略范围的终点；

第一判定步骤，判定所述概略范围的起点与所述概略范围的终点之间的距离是否处于规定距离以内；

第二判定步骤，判定所述概略范围的起点与所述概略范围的终点的所述位移数据的值之差是否为规定范围内；以及

判别步骤，在所述第一判定步骤和所述第二判定步骤中仅在成为真判定时将所述概略范围的起点和所述概略范围的终点作为真判定。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的表面形状测定方法，其特征在于，

槽概略范围检测步骤在对所述位移数据实施了第一滤波处理之后，检测包含加工在所述物体表面上的槽的物体表面的概略范围。

5.根据权利要求4所述的表面形状测定方法，其特征在于，

所述第一滤波处理是线性滤波、中值滤波、或它们的组合。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的表面形状测定方法，其特征在于，

所述槽宽算出步骤及所述槽深算出步骤在对所述位移数据实施了第二滤波处理之后，进行所述槽的槽起点及槽终点的计算及所述槽的深度的计算。

7.根据权利要求6所述的表面形状测定方法，其特征在于，

所述第二滤波处理是线性滤波、中值滤波、或它们的组合。

8.一种表面形状测定装置，其特征在于，具备：

位移数据取得部，通过向物体表面照射光线而进行测定的光学式位移计对所述物体表面进行扫描，取得所述物体表面相对于所述光学式位移计的位移数据；

槽概略范围检测部，搜索所述位移数据来检测包含加工在所述物体表面上的槽的物体表面的概略范围；

槽宽算出部，算出包含在所述概略范围内的所述槽的槽起点及槽终点；

最深位置检测单元，算出从所述槽起点与所述槽终点的中央位置限定在所述槽宽的规定比例的宽度的范围内的所述位移数据的最小值；以及

槽深算出单元，算出由所述最深位置检测单元算出的所述位移数据的最小值与所述物体表面的高度之差作为加工在所述物体表面上的槽的深度。