[发明专利]高频电力供给装置以及点火电压选定方法

权利要求书

1.一种高频电力供给装置，其特征在于，具备：

通过开关动作将直流电源的直流变换为高频交流的高频电源部；以及

连接在所述高频电源部的输出端和作为负载的输入端的负载端之间，将所述高频交流提供给负载的供电部，

所述高频电源部的内部阻抗是比所述供电部的特性阻抗低的阻抗，

所述供电部在所述负载端为开路状态时的电长度L_E是相对于所述高频交流的基本波长λ被选定为(2n－1)·(λ/4)－k·λ≤L_E≤(2n－1)·(λ/4)+k·λ的值，n为整数，k是在0～λ/4的范围内决定的常数。

2.根据权利要求1所述的高频电力供给装置，其特征在于，

所述供电部是将所述高频电源部的输出端和所述负载的负载端电连接的供电电缆，

所述高频电源部的内部阻抗是比所述供电电缆的特性阻抗低的阻抗，

所述供电电缆的电缆长度是使所述负载的负载端为开路状态时的电长度L_E为相对于所述高频交流的基本波长λ被选定为(2n－1)·(λ/4)－k·λ≤L_E≤(2n－1)·(λ/4)+k·λ的电长度的长度，n为整数，k是在0～λ/4的范围内决定的常数。

3.根据权利要求1所述的高频电力供给装置，其特征在于，

所述供电部是将所述高频电源部的输出端和所述负载的负载端电连接的、由电容器及电抗器的串联共振电路构成的滤波电路，

所述高频电源部的内部阻抗是比所述滤波电路的特性阻抗低的阻抗，

关于所述滤波电路的电长度L_E，使所述负载端为开路状态时的电长度L_E为相对于所述高频交流的基本波长λ被选定为(2n－1)·(λ/4)－k·λ≤L_E≤(2n－1)·(λ/4)+k·λ的电长度，n为整数，k是在0～λ/4的范围内决定的常数。

4.根据权利要求1所述的高频电力供给装置，其特征在于，

所述供电部是将所述高频电源部的输出端和所述负载的负载端电连接的、由电容器及电抗器的电路构成的滤波电路和供电电缆的串联电路，

所述高频电源部的内部阻抗是比所述串联电路的特性阻抗低的阻抗，

关于所述串联电路的电长度L_E，使所述负载端为开路状态时的电长度L_E为相对于所述高频交流的基本波长λ被选定为(2n－1)·(λ/4)－k·λ≤L_E≤(2n－1)·(λ/4)+k·λ的电长度，n为整数，k是在0～λ/4的范围内决定的常数。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的高频电力供给装置，其特征在于，

所述常数k为{π－2·cos^－1(1/K)}/(4π)，是用于决定使负载端电压V_z为RF电源电压V_g的K倍的电长度L_E的范围的常数，z＝L_E。

6.一种点火电压选定方法，其用于选定在作为等离子体负载的输入端的负载端，使等离子体负载产生等离子体放电的点火电压，

所述点火电压选定方法的特征在于，

在通过供电部将高频电源部的高频交流提供给等离子体负载的供电中，

在所述高频电源部中，通过开关动作将直流电源的直流变换为高频交流，由此使高频电源的内部阻抗为比所述供电部的特性阻抗低的阻抗，

使所述等离子体负载处于无放电状态，该等离子体负载的负载端为开路状态时的供电部的电长度L_E相对于所述高频交流的基本波长λ为(2n－1)·(λ/4)－k·λ≤L_E≤(2n－1)·(λ/4)+k·λ，n为整数，k是在0～λ/4的范围内决定的常数，

将根据所述电长度L_E决定的所述等离子体负载的负载端的电压选定为点火电压。